[实用新型]流体流量调节装置及流体输送设备

权利要求书

1.一种流体流量调节装置，其特征在于，包括：

支撑件；

保持板，所述保持板设置在所述支撑件上，所述保持板用于支撑流体传输装置；及

抵接件，所述抵接件设置在所述支撑件上，并与所述保持板正对设置；所述抵接件相对于所述保持板可靠近及远离地设置，以挤压及松开流体传输装置。

2.根据权利要求1所述的流体流量调节装置，其特征在于：

所述支撑件包括支撑柱及安装板；

所述安装板设置在所述支撑柱上；

所述保持板设置在所述支撑柱上，并可与所述安装板正对设置；

所述抵接件设置在所述安装板上。

3.根据权利要求2所述的流体流量调节装置，其特征在于：

所述安装板上设置有螺纹孔；

所述抵接件包括螺杆；

所述螺杆与所述螺纹孔螺纹配合并可旋紧及旋松地设置，以使得所述抵接件可靠近及远离所述保持板地设置。

4.根据权利要求2所述的流体流量调节装置，其特征在于：

所述保持板相对于所述支撑柱可转动地设置，以可使得所述保持板转动至与至少部分所述安装板错位设置。

5.根据权利要求2所述的流体流量调节装置，其特征在于，还包括：

第二支撑柱，所述第二支撑柱与所述支撑柱间隔设置；

所述安装板同时设置在所述第二支撑柱及所述支撑柱上。

6.根据权利要求5所述的流体流量调节装置，其特征在于：

所述保持板相对于所述支撑柱可转动地设置；

所述保持板设置有夹持部；

所述夹持部可夹持及松开所述第二支撑柱地设置。

7.根据权利要求6所述的流体流量调节装置，其特征在于：

所述第二支撑柱的自由端设置有台阶；

所述流体流量调节装置还包括紧固螺母；

所述紧固螺母与所述第二支撑柱的自由端通过螺纹紧固配合；

所述夹持部设置在所述紧固螺母与所述台阶之间。

8.根据权利要求1所述的流体流量调节装置，其特征在于：

所述保持板上设置有限位槽；

所述限位槽用于容置部分流体传输装置。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的流体流量调节装置，其特征在于，还包括：

驱动装置，所述驱动装置可驱动所述抵接件靠近及远离所述保持板地设置。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的流体流量调节装置，其特征在于：

所述流体流量调节装置用于半导体湿法加工设备。

11.根据权利要求1至8中任一项所述的流体流量调节装置，其特征在于：

所述流体流量调节装置为可产生紊流的调节装置。

12.一种流体输送设备，其特征在于，包括：

根据权利要求1至11中任一项所述的流体流量调节装置；及

流体传输装置，所述流体传输装置延伸至所述保持板上。

13.根据权利要求12所述的流体输送设备，其特征在于：

所述流体传输装置包括传输管及保持管；

所述保持管套设在所述传输管的外周壁上；且

所述保持管为范性形变结构。