[实用新型]真空镀膜机镀膜阴极改进结构有效
| 申请号： | 201721826090.5 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN207659520U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 闫会朝;丁磊;李晓哲 | 申请（专利权）人： | 厦门玉通光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市海*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极 真空壳体 靶材 磁场线圈 放料辊 工作槽 收料辊 镀膜 操作台 真空镀膜机 放料电机 收料电机 阴极改进 出料口 进料口 靶材利用率 本实用新型 速度效率 防漏气 真空壳 壳体 收放 外置 缠绕 海绵 匹配 体内 驱动 外部 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜机镀膜阴极改进结构，其特征在于：包括真空壳体（1）、放料辊（2）、放料电机（3）、操作台（4）、靶材（5）、阴极（61）、阴极工作槽（62）、若干组磁场线圈（7）、收料辊（8）和收料电机（9），所述放料辊（2）、收料辊（8）分别设于真空壳体（1）外部两端，所述放料电机（3）、收料电机（9）分别对应驱动放料辊（2）和收料辊（8），所述操作台（4）设于真空壳体（1）内，所述靶材（5）设置在操作台（4）上，所述阴极工作槽（62）设置在靶材（5）上且长宽尺寸为1.68mX0.4m，所述阴极（61）固定在真空壳体（1）顶部，所述磁场线圈（7）缠绕在靶材（5）上且相互间隔0.1m，所述真空壳体（1）两端分别开有进料口（11）、出料口（12），所述进料口（11）、出料口（12）上都设有防漏气海绵（13）。
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