[实用新型]一种双面抛光机

说明书

本实用新型公开了一种双面抛光机，包括底座，底座上端左侧安装有导向套，导向套内部安装有丝杆，丝杆上端中部设有左旋螺纹，左旋螺纹外侧安装有上滑块，上滑块右端连接有上移动杆，上移动杆下端右侧安装有上抛光电机，丝杆下端外侧设有右旋螺纹，右旋螺纹外侧安装有下滑块，下滑块右端连接有下移动杆，下移动杆上端右侧安装有下抛光电机，底座上端右侧安装有支撑架，支撑架与导向套中部之间安装有夹持装置，夹持装置之间放置有硅片。本实用新型，通过设有的丝杆和两个滑块之间的相互配合，实现着对两个移动杆的相反方向的运动，从而实现着对硅片上下两面的同时打磨，既提高着抛光效率，同时也降低着生产成本，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体是一种双面抛光机。

背景技术

硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭。

在硅片的加工过程中，其中有个最主要的加工工艺就是对硅片进行表面的抛光，抛光是硅片的最终加工工序，要求抛光表面具有晶格完整性、高的平面度及洁净性，使用械化学抛光法可以获得无加工变质层的表面，然而目前企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机不具备双面抛光功能，对一块硅片抛光时需要进行两次，这就导致抛光效率降低，降低整体生产进度，存在不足。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双面抛光机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种双面抛光机，包括底座，所述底座上端左侧安装有导向套，导向套内部安装有丝杆，丝杆上端中部设有左旋螺纹，左旋螺纹外侧安装有上滑块，上滑块右端连接有上移动杆，上移动杆下端右侧安装有上抛光电机，所述丝杆下端外侧设有右旋螺纹，右旋螺纹外侧安装有下滑块，下滑块右端连接有下移动杆，下移动杆上端右侧安装有下抛光电机，所述底座上端右侧安装有支撑架，所述支撑架与导向套中部之间安装有夹持装置，夹持装置之间放置有硅片。

作为本实用新型进一步的方案：所述导向套与支撑架上端之间安装有横架。

作为本实用新型进一步的方案：所述丝杆上端安装有驱动电机，驱动电机固定于导向套上端中部，所述驱动电机为双转向步进电机。

作为本实用新型进一步的方案：所述上抛光电机下端安装有上抛光轮，所述下抛光电机上端安装有下抛光轮。

作为本实用新型进一步的方案：所述上抛光电机和下抛光电机分别电性连接有控制面板，所述控制面板安装于支撑架右端。

作为本实用新型再进一步的方案：所述导向套右端中部设有与上移动杆和下移动杆相互配合的移动槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

所述一种双面抛光机，结构合理，设计新颖，通过设有的丝杆和两个滑块之间的相互配合，实现着对两个移动杆的相反方向的运动，从而实现着对硅片上下两面的同时打磨，既提高着抛光效率，同时也降低着生产成本，实用性强。

附图说明

图1为一种双面抛光机的结构示意图。

图2为一种双面抛光机中导向套的右侧结构示意图。

图3为一种双面抛光机中丝杆的结构示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。