[实用新型]一种双面抛光机

权利要求书

1.一种双面抛光机，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）上端左侧安装有导向套（2），导向套（2）内部安装有丝杆（18），丝杆（18）上端中部设有左旋螺纹（19），左旋螺纹（19）外侧安装有上滑块（4），上滑块（4）右端连接有上移动杆（10），上移动杆（10）下端右侧安装有上抛光电机（11），所述丝杆（18）下端外侧设有右旋螺纹（20），右旋螺纹（20）外侧安装有下滑块（3），下滑块（3）右端连接有下移动杆（13），下移动杆（13）上端右侧安装有下抛光电机（14），所述底座（1）上端右侧安装有支撑架（7），所述支撑架（7）与导向套（2）中部之间安装有夹持装置（8），夹持装置（8）之间放置有硅片（16）。

2.根据权利要求1所述的一种双面抛光机，其特征在于，所述导向套（2）与支撑架（7）上端之间安装有横架（6）。

3.根据权利要求1所述的一种双面抛光机，其特征在于，所述丝杆（18）上端安装有驱动电机（5），驱动电机（5）固定于导向套（2）上端中部，所述驱动电机（5）为双转向步进电机。

4.根据权利要求1所述的一种双面抛光机，其特征在于，所述上抛光电机（11）下端安装有上抛光轮（12），所述下抛光电机（14）上端安装有下抛光轮（15）。

5.根据权利要求1所述的一种双面抛光机，其特征在于，所述上抛光电机（11）和下抛光电机（14）分别电性连接有控制面板（17），所述控制面板（17）安装于支撑架（7）右端。

6.根据权利要求1所述的一种双面抛光机，其特征在于，所述导向套（2）右端中部设有与上移动杆（10）和下移动杆（13）相互配合的移动槽（21）。