[实用新型]用于半导体生产设备上可旋转的移载装置

说明书

本实用新型公开了一种用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，吸管同时连接吸头部和上、下固定座，构成了完整的本机构。用同步带把电机和同步轮连接在一起，在通过电机安装板上的腰型孔，张紧同步带，电机带动同步轮，带动吸头做旋转运动。上、下固定座可以做相对运动，此目的是保护吸头在吸附产品的时候，产品不受外力损坏，本实用新型移载装置的过程中同时进行旋转运动，既简化了机构又节省了效率，减震弹簧能有效减轻移载装置吸附过程中对产品吸附面造成的压力，降低了报废率。

技术领域

本实用新型涉及一种用于半导体生产设备上可旋转的移载装置。

背景技术

在半导体设备中，常规用的移载机构是先把产品移载到旋转台，然后经旋转台旋转一定方向，再进行下一步操作，效率低结构复杂，在吸附过程中容易损坏产品吸附面，导致报废率上升。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，本装置包括吸管、吸头部、上固定座和下固定座，吸头部、上固定座和下固定座套接在吸管上，所述的吸头部包括气接头、吸盘安装柱和吸盘安装座，气接头与吸盘安装柱顶端连接，吸盘安装柱通过吸盘安装座套接在吸管上；所述的上固定座包括基板、导套和导套安装座，基板通过导套与吸管上段连接，导套通过导套安装座套接吸管上，所述的下固定座包括同步轮固定座、同步轮、电机、电机安装板、直线轴承和同步带，电机通过电机安装板与吸管连接，电机输出轴连接同步带一端，同步带另一端与同步轮连接，同步轮通过同步轮固定座套接在直线轴承上，电机安装板通过连接块与基板上的滑轨滑动连接，所述吸管的工作端设有吸盘，吸盘通过吸盘安装座与吸管连接。

优选的，同步轮固定座和导套安装座与吸管连接处设有轴承。

优选的，吸盘安装座的上方和导套安装座的下方设有减震弹簧。

优选的，电机安装板上设有腰型孔。

优选的，吸管尾端通过气接头与真空发生器连接。

优选的，所述的吸盘呈内凹式，吸盘完全包覆产品吸附面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型移载装置的过程中同时进行旋转运动，既简化了机构又节省了效率，减震弹簧能有效减轻移载装置吸附过程中对产品吸附面造成的压力，降低了报废率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型的侧视图。

图中：1基板，2滑轨，3连接块，4同步轮固定座，5同步轮，6电机，7电机安装板，8同步带，9气接头，10吸盘安装柱，11导套，12套安装座，13减震弹簧，14轴承，15直线轴承，17吸盘安装座，18吸盘，19吸管，20腰型孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。