[实用新型]用于半导体生产设备上可旋转的移载装置有效
| 申请号： | 201721786925.9 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207542227U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 张元涛;刘正龙;丁宁;陈迎志 | 申请（专利权）人： | 铜陵三佳山田科技股份有限公司;文一三佳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/687;F16F13/00 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 移载装置 半导体生产设备 本实用新型 可旋转的 下固定座 同步带 同步轮 吸头 吸管 电机安装板 电机带动 减震弹簧 外力损坏 吸附过程 报废率 吸附面 腰型孔 吸附 张紧 电机 | ||
1.用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，其特征是：本装置包括吸管、吸头部、上固定座和下固定座，吸头部、上固定座和下固定座套接在吸管（19）上，所述的吸头部包括气接头（9）、吸盘安装柱（10）和吸盘安装座（17），气接头（9）与吸盘安装柱（10）顶端连接，吸盘安装柱（10）通过吸盘安装座（17）套接在吸管（19）上；所述的上固定座包括基板（1）、导套（11）和导套安装座（12），基板（1）通过导套（11）与吸管（19）上段连接，导套（11）通过导套安装座（12）套接吸管（19）上，所述的下固定座包括同步轮固定座（4）、同步轮（5）、电机（6）、电机安装板（7）、直线轴承（15）和同步带（8），电机（6）通过电机安装板（7）与吸管（19）连接，电机（6）输出轴连接同步带（8）一端，同步带（8）另一端与同步轮（5）连接，同步轮（5）通过同步轮固定座（4）套接在直线轴承（15）上，电机安装板（7）通过连接块（3）与基板（1）上的滑轨（2）滑动连接，所述吸管（19）的工作端设有吸盘（18），吸盘（18）通过吸盘安装座（17）与吸管（19）连接。
2.根据权利要求1所述的用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，其特征是所述同步轮固定座（4）和导套安装座（12）与吸管（19）连接处设有轴承（14）。
3.根据权利要求1所述的用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，其特征是所述吸盘安装座（17）的上方和导套安装座（12）的下方设有减震弹簧（13）。
4.根据权利要求1所述的用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，其特征是所述的电机安装板（7）上设有腰型孔（20）。
5.根据权利要求1所述的用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，其特征是所述的吸管（19）尾端通过气接头（9）与真空发生器连接。
6.根据权利要求1所述的用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，其特征是所述的吸盘（18）呈内凹式，吸盘完全包覆产品吸附面。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于铜陵三佳山田科技股份有限公司;文一三佳科技股份有限公司，未经铜陵三佳山田科技股份有限公司;文一三佳科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721786925.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种固晶机的顶针装置
- 下一篇：一种用于固晶机的顶针装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
