[实用新型]静电放电防止装置

说明书

本实用新型提供了一种静电放电防止装置。该静电放电防止装置包括用于承载基板的基台，静电放电防止装置还包括：一个或多个相互隔离的支撑件，支撑件贯穿基台设置，用于支撑基板并将基板与基台分离，且至少一个支撑件具有沿其延伸方向设置的通气孔；除静电器，用于提供电离气体，除静电器具有第一电离气体出口，第一电离气体出口与通气孔连通，且通气孔容许电离气体逸出并对基板的下表面进行除静电。由于基板在与基板分离瞬间产生的静电极易导致基板上的敏感元件可以瞬间电击穿报废，而采用本申请的上述静电放电防止装置，能够在基板与基台将要分离时使电离气体扩散至基板的表面，从而从根源解决静电放电的产生，提高了静电的去除效果。

技术领域

本实用新型涉及光电制造技术领域，具体而言，涉及一种静电放电防止装置。

背景技术

在光电制造工艺中，影响产品良率的重要因素之一为ESD(静电放电)，ESD过高会导致产品电击穿，造成报废。产品一旦有电荷就会把周边细小的粉尘吸过来，造成产品污染。周边的粉尘一旦有电荷，电荷就会在产品上堆积，造成严重放电现象，导致产品报废。目前行业内大多除ESD方式为在产品上方安放除静电器，但是除ESD效果不理想。如图1所示，现有技术中的静电放电防止装置包括基台10＇以及贯穿基台的支撑件20＇，支撑件用于支撑基板40＇，除静电器30＇位于基板40＇的上方，在基板40＇与基台10＇分离产生静电时，通过除静电器30＇能够向基板40＇的上表面提供电离气体，以去除基板40＇表面产生的静电。

然而，上述方法去除静电除存在以下缺点：首先，该方法只能有效的去除基板上表面的静电；并且，由于除静电器距离基板表面300～400mm，从而导致距离较大，静电去除效果有待提高；此外，上述方式是在静电发生后进行去除静电，静电发生对敏感元器件易造成电击穿，没有在静电发生源处防止静电发生。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种静电放电防止装置，以解决现有技术中的静电放电防止装置静电去除效果较差的问题。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种静电放电防止装置，包括用于承载基板的基台，静电放电防止装置还包括：一个或多个相互隔离的支撑件，支撑件贯穿基台设置，用于支撑基板并将基板与基台分离，且至少一个支撑件具有沿其延伸方向设置的通气孔；除静电器，用于提供电离气体，除静电器具有第一电离气体出口，第一电离气体出口与通气孔连通，且通气孔容许电离气体逸出并对基板的下表面进行除静电。

进一步地，通气孔靠近基板的位置具有气体逸出孔或支撑件的顶部具有与通气孔连通的缺口。

进一步地，除静电器的顶部具有第二电离气体出口，用于向基板的下表面提供电离气体。

进一步地，基台具有贯通孔，第二电离气体出口通过贯通孔向基板的下表面提供电离气体。

进一步地，除静电器位于基台的下方，或至少部分除静电器嵌于贯通孔中。

进一步地，除静电器设置于支撑件上，且除静电器随支撑件可移动地贯穿基台。

进一步地，除静电器的第二电离气体出口与支撑件的顶部的最小距离为10～20mm。

进一步地，支撑件为支撑针，且除静电器为离子风棒。

进一步地，除静电器的顶部具有针状结构，第二电离气体出口位于针状结构上。

进一步地，在静电放电防止装置工作时，设置第二电离气体出口与基板的下表面的最小距离为10～20mm。