[实用新型]静电放电防止装置

权利要求书

1.一种静电放电防止装置，包括用于承载基板(40)的基台(10)，其特征在于，所述静电放电防止装置还包括：

一个或多个相互隔离的支撑件(20)，所述支撑件(20)贯穿所述基台(10)设置，用于支撑所述基板(40)并将所述基板(40)与所述基台(10)分离，且至少一个所述支撑件(20)具有沿其延伸方向设置的通气孔；

除静电器(30)，用于提供电离气体，所述除静电器(30)具有第一电离气体出口(310)，所述第一电离气体出口(310)与所述通气孔连通，且所述通气孔容许所述电离气体逸出并对所述基板(40)的下表面进行除静电。

2.根据权利要求1所述的静电放电防止装置，其特征在于，所述通气孔靠近所述基板(40)的位置具有气体逸出孔或所述支撑件的顶部具有与所述通气孔连通的缺口。

3.根据权利要求1所述的静电放电防止装置，其特征在于，所述除静电器(30)的顶部具有第二电离气体出口(320)，用于向所述基板(40)的下表面提供电离气体。

4.根据权利要求3所述的静电放电防止装置，其特征在于，所述基台(10)具有贯通孔，所述第二电离气体出口(320)通过所述贯通孔向所述基板(40)的下表面提供电离气体。

5.根据权利要求4所述的静电放电防止装置，其特征在于，所述除静电器(30)位于所述基台(10)的下方，或至少部分所述除静电器(30)嵌于所述贯通孔中。

6.根据权利要求3所述的静电放电防止装置，其特征在于，所述除静电器(30)设置于所述支撑件(20)上，且所述除静电器(30)随所述支撑件(20)可移动地贯穿所述基台(10)。

7.根据权利要求6所述的静电放电防止装置，其特征在于，所述除静电器(30)的第二电离气体出口(320)与所述支撑件(20)的顶部的最小距离为10～20mm。

8.根据权利要求3至7中任一项所述的静电放电防止装置，其特征在于，所述支撑件(20)为支撑针，且所述除静电器(30)为离子风棒。

9.根据权利要求3所述的静电放电防止装置，其特征在于，所述除静电器(30)的顶部具有针状结构，所述第二电离气体出口(320)位于所述针状结构上。

10.根据权利要求3所述的静电放电防止装置，其特征在于，在所述静电放电防止装置工作时，设置所述第二电离气体出口(320)与所述基板的下表面的最小距离为10～20mm。