[实用新型]一种光刻定位治具

说明书

本实用新型公开了一种光刻定位治具，包括第二安装板、支撑杆和连接体，所述第二安装板一侧面板固定连接有第一安装板，所述第二安装板相对的另一侧面板四拐角处均固定设有加强体，且所述加强体上通过矩形孔连接有矩形连接体，且所述矩形连接体上端连接有所述支撑杆，所述支撑杆上端设有圆柱体，所述圆柱体贯穿连接有连接柱，且所述连接柱垂直连接有旋转体，所述第二安装板上设置若干连接体，且所述连接体相对的另一端通过安装体连接有撑板。在使用的时候可以松开螺母，然后旋转旋转体调整位置，调整到合适的位置然后将螺母锁紧即可。调整好后，在光刻蚀的时候可以将需要刻的产品放置在撑板上，靠住旋转体进行刻蚀。本实用新型具有结构简单的特点。

技术领域

本实用新型涉及治具技术领域，特别涉及一种光刻定位治具。

背景技术

光刻(photoetching)是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺在此之后，晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。被除去的部分可能形状是薄膜内的孔或是残留的岛状部分。

光刻时候需要治具对工件进行简单地固定，保证每个工件放置的位置准确，光刻的时候才能够刻录在统一的位置。现有的光刻录治具均为固定式，并不具备调节位置的结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻定位治具。以解决技术背景的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型一种光刻定位治具，包括第二安装板、支撑杆和连接体，所述第二安装板一侧面板固定连接有第一安装板，所述第二安装板相对的另一侧面板四拐角处均固定设有加强体，且所述加强体上通过矩形孔连接有矩形连接体，且所述矩形连接体上端连接有所述支撑杆，所述支撑杆上端设有圆柱体，所述圆柱体贯穿连接有连接柱，且所述连接柱垂直连接有旋转体，所述第二安装板上设置若干连接体，且所述连接体相对的另一端通过安装体连接有撑板，所述连接柱的一端设置外螺纹，所述外螺纹螺纹连接螺母。

优选的，所述连接柱内部设置有透空槽。

优选的，所述安装体上设置有矩形凸起，矩形凸起与撑板上设置的矩形凹槽配合插接。

优选的，所述支撑杆和所述旋转体材料为45号钢，且所述连接柱与所述旋转体之间的连接方式为焊接。

优选的，所述撑板的外部涂抹油漆。

优选的，所述撑板由合成木板制成，且所述撑板厚度为1.5CM。撑板选用木板材料可以放置产品碰上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：将第二安装板和第一安装板通过焊接的方式焊接在一起，然后将加强体焊接在第二安装板的上面，然后将连接体焊接在第二安装板上，然后将撑板插接在安装体上，在将连接柱套在圆柱体上，然后将螺母安装在外螺纹上。在使用的时候可以松开螺母，然后旋转旋转体调整位置，调整到合适的位置然后将螺母锁紧即可。调整好后，在光刻蚀的时候可以将需要刻的产品放置在撑板上，靠住旋转体进行刻蚀。本实用新型具有结构简单，方便实用的特点。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的整体结构示意图；

图3为本实用新型的安装体结构示意图；

图4为本实用新型的撑板结构示意图。

图中：1、第二安装板；2、第一安装板；3、加强体；4、矩形孔；5、矩形连接体；6、支撑杆；7、圆柱体；8、透空槽；9、连接柱；10、旋转体；11、安装体；12、连接体；13、撑板；14、螺母；15外螺纹；16矩形凸起；17、矩形凹槽。

具体实施方式