[实用新型]一种光刻定位治具有效
| 申请号: | 201721758552.4 | 申请日: | 2017-12-16 |
| 公开(公告)号: | CN207833217U | 公开(公告)日: | 2018-09-07 |
| 发明(设计)人: | 周军华;罗勇 | 申请(专利权)人: | 吉安航盛机电科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 | 代理人: | 胡思棉 |
| 地址: | 343100 江西省吉*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 安装板 连接体 旋转体 支撑杆 本实用新型 矩形连接体 光刻定位 上端 加强体 连接柱 撑板 治具 螺母 产品放置 垂直连接 调整位置 面板固定 安装体 拐角处 光刻蚀 矩形孔 螺母锁 松开 刻蚀 贯穿 | ||
1.一种光刻定位治具,包括第二安装板(1)、支撑杆(6)和连接体(12),其特征在于,所述第二安装板(1)一侧面板固定连接有第一安装板(2),所述第二安装板(1)相对的另一侧面板四拐角处均固定设有加强体(3),且所述加强体(3)上通过矩形孔(4)连接有矩形连接体(5),且所述矩形连接体(5)上端连接有所述支撑杆(6),所述支撑杆(6)上端设有圆柱体(7),所述圆柱体(7)贯穿连接有连接柱(9),且所述连接柱(9)垂直连接有旋转体(10),所述第二安装板(1)上设置若干连接体(12),且所述连接体(12)相对的另一端通过安装体(11)连接有撑板(13),所述连接柱(9)的一端设置外螺纹(15),所述外螺纹(15)螺纹连接螺母(14)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻定位治具,其特征在于,所述连接柱(9)内部设置有透空槽(8)。
3.根据权利要求1所述的一种光刻定位治具,其特征在于,所述安装体(11)上设置有矩形凸起(16),矩形凸起(16)与撑板(13)上设置的矩形凹槽(17)配合插接。
4.根据权利要求1所述的一种光刻定位治具,其特征在于,所述支撑杆(6)和所述旋转体(10)材料为45号钢,且所述连接柱(9)与所述旋转体(10)之间的连接方式为焊接。
5.根据权利要求1和3任意一项所述的一种光刻定位治具,其特征在于,所述撑板(13)的外部涂抹油漆,所述撑板(13)由合成木板制成,且所述撑板(13)厚度为1.5CM。
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