[实用新型]抛光垫及其抛光装置

权利要求书

1.一种抛光垫，其特征在于，包括：抛光布本体(100)，所述抛光布本体(100)上设有至少一个凹槽(110)，至少一个所述凹槽(110)内设有用于限制抛光液流动的填充物(200)。

2.根据权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，所述凹槽(110)为多个，各所述凹槽(110)内均设有填充物(200)，且所述填充物(200)的高度小于所述凹槽(110)的深度。

3.根据权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，所述凹槽(110)为多个，至少一个所述凹槽(110)内设有填充物(200)，且所述填充物(200)的高度不大于所述凹槽(110)的深度。

4.根据权利要求1-3任一项所述的抛光垫，其特征在于，所述填充物(200)的材质采用无机材料；或者是，所述填充物(200)的材质采用微溶于碱液或者酸液的有机材料。

5.根据权利要求4所述的抛光垫，其特征在于，所述凹槽(110)为多个，多个所述凹槽(110)相互连通。

6.根据权利要求1-3、5任一项所述的抛光垫，其特征在于，所述凹槽(110)的横截面形状采用矩形、倒梯形、半圆形、倒三角形中的任一种。

7.根据权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，所述抛光布本体(100)由上至下依次设有抛光层(120)、防水层(130)和胶粘层(140)；

各所述凹槽(110)设置在所述抛光层(120)上。

8.根据权利要求7所述的抛光垫，其特征在于，所述抛光层(120)的材质采用聚氨酯、绒布、聚酯纤维中的任一种；

所述防水层(130)的材质采用环氧树脂、聚乙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯中的任一种；

所述胶粘层(140)的材质采用压敏胶、热敏胶、UV胶中的任一种。

9.根据权利要求8所述的抛光垫，其特征在于，所述抛光层(120)的厚度范围为100um～10mm；

所述防水层(130)的厚度范围为10um～1mm；

所述胶粘层(140)的厚度范围为10um～10mm。

10.一种抛光装置，其特征在于，包括抛光机大盘和上述的抛光垫，所述抛光垫固定在所述抛光机大盘上。