[实用新型]一种靶材平坦度矫正设备

说明书

本实用新型涉及靶材平坦度矫正设备，包括基台、安装在所述基台上检测靶材平坦度的检测装置以及设置在所述基台上对经检测装置检测后的靶材进行平坦度矫正的矫正装置。该靶材平坦度矫正设备能够检测靶材平坦度并对检测后的靶材进行平坦度矫正，从而废弃靶材得到重新利用，避免了资源的浪费，减低了生产成本，也提高了靶材表面通过溅射所镀的膜的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及矫正设备，更具体地说，涉及一种靶材平坦度矫正设备。

背景技术

现有技术中，一般采用溅射的方法在靶材表面镀上一层薄膜，而靶材表面的平整度将会影响所镀薄膜的均匀性，而靶材如果表面不平坦直接被列为废品不再使用，从而造成了资源的浪费，还有增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种能够解决靶材表面不平坦，容易造成靶材资源浪费的靶材矫正设备。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种靶材平坦度矫正设备，包括基台、安装在所述基台上检测靶材平坦度的检测装置以及设置在所述基台上对经检测装置检测后的靶材进行平坦度矫正的矫正装置。

优选地，所述矫正装置包括安装在所述基台上的至少一个矫正压头、安装在所述基台上供所述矫正压头沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件、安装在所述基台上带动所述矫正压头在所述导向组件上沿Y轴方向做往复运动的传动装置、与所述传动装置连接驱动所述传动装置传动的驱动机构以及安装在所述基台上且与所述矫正压头连接带动所述矫正压头在所述导向组件上沿X轴方向做反复运动的动力元件。

优选地，所述导向组件括设置在所述基台上供所述矫正压头沿X轴方向做往复运动的第一导向组件以及设置在所述基台上供所述矫正压头沿Y轴方向做往复运动的第二导向组件。

优选地，所述第一导向组件上方设有由所述动力元件带动在所述第一导向组件上做往复运动的所述第一安装板；所述第二导向组件上设有安装所述矫正压头的第二安装板。

优选地，所述第一导向组件包括设置在所述基台上的第一导轨以及套设在所述第一导轨上与所述第一安装板连接带动所述第一安装板在所述第一导轨上往复运动的第一滑块；所述第一滑块设置在所述第一安装板底部且与所述第一安装板固定连接。

优选地，所述第二导向组件设置在所述第一安装板上；所述第二导向组件包括设置在所述第一安装板上的第二导轨以及套设在所述第二导轨上且与所述第二安装板固定连接的第二滑块。

优选地，所述矫正装置还包括设置在所述第二安装板上带动所述矫正压头升降的升降气缸、以及与所述升降气缸和所述矫正压头连接且可调节的连接杆；所述连接杆的一端通过设置旋转机构与所述矫正压头活动连接。

优选地，所述动力元件为伸缩气缸；所述伸缩气缸与所述第一导轨平行设置且与所述第一安装板连接带动所述第一安装板在所述第一导轨上做往复运动；

所述传动装置包括设置在所述第一安装板上与所述驱动机构连接由所述驱动机构驱动的丝杆；所述丝杆与所述检测装置连接带动所述检测装置在所述第二导轨上做往复运动。

优选地，所述驱动机构为电机，所述电机安装在所述第一安装板上。

优选地，所述检测装置包括红外检测探头、以及超声波检测探头。

实施本实用新型的靶材平坦度矫正设备，具有以下有益效果：该靶材平坦度矫正设备通过在基台上安装检测装置以及设置矫正装置，使其能够检测靶材平坦度并对检测后的靶材进行平坦度矫正，从而废弃靶材得到重新利用，避免了资源的浪费，减低了生成成本，也提高了靶材表面通过溅射所镀的膜的均匀性。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型靶材平坦度矫正设备的正视图；