[实用新型]一种靶材平坦度矫正设备

权利要求书

1.一种靶材平坦度矫正设备，其特征在于，包括基台(11)、安装在所述基台(11)上检测靶材平坦度的检测装置(12)以及设置在所述基台(11)上对经检测装置(12)检测后的靶材进行平坦度矫正的矫正装置(13)。

2.根据权利要求1所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述矫正装置(13)包括安装在所述基台(11)上的至少一个矫正压头(131)、安装在所述基台(11)上供所述矫正压头(131)沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件(132)、安装在所述基台(11)上带动所述矫正压头(131)在所述导向组件(132)上沿Y轴方向做往复运动的传动装置(133)、与所述传动装置(133)连接驱动所述传动装置(133)传动的驱动机构(134)以及安装在所述基台(11)上且与所述矫正压头(131)连接带动所述矫正压头(131)在所述导向组件(132)上沿X轴方向做反复运动的动力元件(135)。

3.根据权利要求2所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述导向组件(132)包括设置在所述基台(11)上供所述矫正压头(131)沿X轴方向做往复运动的第一导向组件以及设置在所述基台(11)上供所述矫正压头(131)沿Y轴方向做往复运动的第二导向组件。

4.根据权利要求3所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述第一导向组件上方设有由所述动力元件(135)带动在所述第一导向组件上做往复运动的第一安装板(136)；所述第二导向组件上设有安装所述矫正压头(131)的第二安装板(137)。

5.根据权利要求4所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述第一导向组件包括设置在所述基台(11)上的第一导轨(1321)以及套设在所述第一导轨(1321)上与所述第一安装板(136)连接带动所述第一安装板(136)在所述第一导轨(1321)上往复运动的第一滑块(1322)；所述第一滑块(1322)设置在所述第一安装板(136)底部且与所述第一安装板(136)固定连接。

6.根据权利要求5所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述第二导向组件设置在所述第一安装板(136)上；所述第二导向组件包括设置在所述第一安装板(136)上的第二导轨(1323)以及套设在所述第二导轨(1323)上且与所述第二安装板(137)固定连接的第二滑块(1324)。

7.根据权利要求6所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述矫正装置(13)还包括设置在所述第二安装板(137)上带动所述矫正压头(131)升降的升降气缸(138)、以及与所述升降气缸(138)和所述矫正压头(131)连接且可调节的连接杆(139)；所述连接杆(139)的一端通过设置旋转机构(140)与所述矫正压头(131)活动连接。

8.根据权利要求7所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述动力元件(135)为伸缩气缸；所述伸缩气缸与所述第一导轨(1321)平行设置且与所述第一安装板(136)连接带动所述第一安装板(136)在所述第一导轨(1321)上做往复运动；

所述传动装置(133)包括设置在所述第一安装板(136)上与所述驱动机构(134)连接由所述驱动机构(134)驱动的丝杆；所述丝杆与所述检测装置(12)连接带动所述检测装置(12)在所述第二导轨(1323)上做往复运动。

9.根据权利要求4所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述驱动机构(134)为电机，所述电机安装在所述第一安装板(136)上。

10.根据权利要求1所述的靶材平坦度矫正设备，其特征在于，所述检测装置(12)包括红外检测探头、以及超声波检测探头。