[实用新型]一种用于固晶机的顶针装置有效

专利信息
申请号: 201721729742.3 申请日: 2017-12-13
公开(公告)号: CN207542228U 公开(公告)日: 2018-06-26
发明(设计)人: 汤志鹏;殷海涛 申请(专利权)人: 苏州聚进顺自动化科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 顶针装置 固定座 通孔 顶针孔 移动座 本实用新型 驱动装置 真空设备 固晶机 晶片 顶针 顶针位置 工作效率 上下移动 上下运动 吸附晶片 吸附 薄膜 驱动
【权利要求书】:

1.一种用于固晶机的顶针装置,包括顶针装置和驱动装置,其特征是,所述顶针装置包括固定座,所述固定座内设置有可在固定座内上下移动的移动座,所述移动座通过驱动装置驱动其上下运动,所述移动座上方设置有顶针,所述固定座上方设置有通孔,所述通孔连接真空设备,所述固定座上方还设置有顶针孔,所述顶针孔与顶针位置相对应。

2.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的顶针装置,其特征是,所述移动座上设置有支撑顶针的顶杆,所述顶杆上设置有与顶针相连的连接部。

3.根据权利要求2所述的一种用于固晶机的顶针装置,其特征是,所述顶杆设置有两个,所述连接部为半圆形,一锁紧环连接两个顶杆的连接部。

4.根据权利要求2所述的一种用于固晶机的顶针装置,其特征是,所述连接部处设置有弹性垫。

5.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的顶针装置,其特征是,所述顶针包括第一部分和第二部分,所述第一部分处套设置有弹簧,所述弹簧的直径大于顶针孔的直径。

6.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的顶针装置,其特征是,所述通孔设置有多个,并且均匀的设置在顶针孔周围。

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