[实用新型]工件载台

说明书

本实用新型提供了一种工件载台，该工件载台包括：载台本体；升降装置，可升降地设置在载台本体上，升降装置用于升降待除静电工件；第一除静电装置，固定设置在升降装置上，且位于待除静电工件的下方，第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。通过本实用新型提供的技术方案，能够解决现有技术中无法对待除静电工件的下表面进行除静电操作的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及除静电技术领域，具体而言，涉及一种工件载台。

背景技术

目前，USC清洗设备离子消除棒在去除静电时存在很多的不足，不能达到有效去除静电的效果。现有技术中的离子消除棒位置角度固定，其设置在玻璃板的上方，且位于玻璃板离开载台本体的一侧，在通过该离子消除棒进行除静电时，只能去除玻璃板上表面的静电，而无法去除玻璃板下表面的静电，使得玻璃板的下表面依然带电。因此通过现有装置无法对玻璃板的下表面进行除静电操作。

实用新型内容

本实用新型提供一种工件载台，以解决现有技术中无法对待除静电工件的下表面进行除静电操作的技术问题。

本实用新型提供了一种工件载台，工件载台包括：载台本体；升降装置，可升降地设置在载台本体上，升降装置用于升降待除静电工件；第一除静电装置，固定设置在升降装置上，且位于待除静电工件的下方，第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。

进一步地，第一除静电装置包括多个离子棒单元，多个离子棒单元均匀设置在升降装置上。

进一步地，升降装置的顶端用于放置待除静电工件，每个离子棒单元距离升降装置顶端的距离均相同。

进一步地，离子棒单元距离升降装置顶端的距离在10mm-20mm范围内。

进一步地，升降装置包括多个升降顶针，多个升降顶针可升降地设置在载台本体上，至少部分升降顶针上设置有离子棒单元。

进一步地，每个升降顶针上对应设置有一个离子棒单元。

进一步地，载台本体上设置有多个通孔，多个升降顶针一一对应地穿设在多个通孔内。

进一步地，第一除静电装置还包括控制装置，控制装置分别与多个离子棒单元相连接，控制装置用于控制多个离子棒单元工作。

进一步地，每个离子棒单元的供气压力范围为0.1Mpa-0.8Mpa。

进一步地，工件载台还包括第二除静电装置，第二除静电装置设置在载台本体的上方，待除静电工件位于第二除静电装置与升降装置之间。

应用本实用新型的技术方案，该工件载台包括载台本体、升降装置和第一除静电装置。升降装置可升降地设置在载台本体上，升降装置用于升降待除静电工件。第一除静电装置固定设置在升降装置上，且第一除静电装置位于待除静电工件的下方，第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。采用本实用新型提供的工件载台，将待除静电工件放置于升降装置上，位于升降装置上的第一除静电装置便可去持续除该待除静电工件底面的静电，如此能够解决现有技术中无法对待除静电工件的下表面进行除静电操作的技术问题，使该工件载台达到更好地除静电效果。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了本实用新型提供的工件载台的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、载台本体；20、升降顶针；30、离子棒单元；40、第二除静电装置；50、机械手。

具体实施方式