[实用新型]工件载台有效
| 申请号： | 201721693797.3 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN207531149U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 金忠盛 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06;B25H1/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 215634 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 除静电 升降装置 除静电装置 工件载台 载台本体 本实用新型 固定设置 可升降地 静电 下表面 去除 升降 | ||
1.一种工件载台，其特征在于，所述工件载台包括：
载台本体(10)；
升降装置，可升降地设置在所述载台本体(10)上，所述升降装置用于升降待除静电工件；
第一除静电装置，固定设置在所述升降装置上，且位于所述待除静电工件的下方，所述第一除静电装置用于去除所述待除静电工件上的静电。
2.根据权利要求1所述的工件载台，其特征在于，所述第一除静电装置包括多个离子棒单元(30)，多个所述离子棒单元(30)均匀设置在所述升降装置上。
3.根据权利要求2所述的工件载台，其特征在于，所述升降装置的顶端用于放置所述待除静电工件，每个所述离子棒单元(30)距离所述升降装置顶端的距离均相同。
4.根据权利要求3所述的工件载台，其特征在于，所述离子棒单元(30)距离所述升降装置顶端的距离在10mm-20mm范围内。
5.根据权利要求2所述的工件载台，其特征在于，所述升降装置包括多个升降顶针(20)，多个升降顶针(20)可升降地设置在所述载台本体(10)上，至少部分所述升降顶针(20)上设置有所述离子棒单元(30)。
6.根据权利要求5所述的工件载台，其特征在于，每个所述升降顶针(20)上对应设置有一个所述离子棒单元(30)。
7.根据权利要求5所述的工件载台，其特征在于，所述载台本体(10)上设置有多个通孔，多个所述升降顶针(20)一一对应地穿设在多个所述通孔内。
8.根据权利要求2所述的工件载台，其特征在于，所述第一除静电装置还包括控制装置，所述控制装置分别与多个所述离子棒单元(30)相连接，所述控制装置用于控制多个所述离子棒单元(30)工作。
9.根据权利要求2所述的工件载台，其特征在于，每个所述离子棒单元(30)的供气压力范围为0.1Mpa-0.8Mpa。
10.根据权利要求1所述的工件载台，其特征在于，所述工件载台还包括第二除静电装置(40)，所述第二除静电装置(40)设置在所述载台本体(10)的上方，所述待除静电工件位于所述第二除静电装置(40)与所述升降装置之间。
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