[实用新型]具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，包括第一靶材镀膜腔和第二靶材镀膜腔，所述第一靶材镀膜腔与所述第二靶材镀膜腔之间设有隔离腔，所述隔离腔通过第一隔板与所述第一靶材镀膜腔分隔，通过第二隔板与所述第二靶材镀膜腔分隔，所述第一隔板和所述第二隔板上均具有狭缝和吹扫装置；所述第一靶材镀膜腔内靠近所述第一隔板的一端设有第一泵腔，所述第二靶材镀膜腔内靠近所述第二隔板的一端设有第二泵腔，所述隔离腔、所述第一泵腔和所述第二泵腔内均设有分子泵。本实用新型能够有效解决镀膜腔室间的气氛飘逸问题，保证玻璃镀膜质量，具有结构简单和制造成本低的优点。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜设备，特别是一种具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备。

背景技术

在板材镀膜设备中，根据不同的制程工艺，需要不同种类的靶材同时溅射沉积镀膜，每种靶材都有相应的工艺要求，在有主溅射气体的同时，还需要加入辅助溅射气体，如O₂，H₂，N₂等，多种靶材的溅射过程是在同一个真空腔室发生的，为了在制程工艺中不同靶材之间反应气体互不影响，需要将不同靶材溅射工艺分隔开，来保证镀膜质量。

如图1所示，现有的隔离方式通常是在根据不同靶材溅射工艺分别设置加工腔室100，工艺腔室100之间添加一个隔离腔200，隔离腔200内配有分子泵300来抽气，前后隔离腔200各安装一个翻板阀400来代替腔体间的门板，以实现不同工艺腔室气体的隔离，其造价贵，要求高，必须要有自动化控制。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，以解决现有技术中的技术问题，它能够有效隔离镀膜设备的各个腔室，防止腔室间气体飘逸，保证玻璃镀膜质量，具有结构简单和制造成本低的优点。

本实用新型提供了一种具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，包括第一靶材镀膜腔和第二靶材镀膜腔，所述第一靶材镀膜腔与所述第二靶材镀膜腔之间设有隔离腔，所述隔离腔通过第一隔板与所述第一靶材镀膜腔分隔，通过第二隔板与所述第二靶材镀膜腔分隔，所述第一隔板和所述第二隔板上均具有狭缝和吹扫装置；所述第一靶材镀膜腔内靠近所述第一隔板的一端设有第一泵腔，所述第二靶材镀膜腔内靠近所述第二隔板的一端设有第二泵腔，所述隔离腔、所述第一泵腔和所述第二泵腔内均设有分子泵。

前述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备中，优选地，所述第一隔板和所述第二隔板上的所述吹扫装置均位于所述隔离腔内。

前述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备中，优选地，所述吹扫装置包括气管、端板和流量控制阀，所述端板为2个，分别固定在所述狭缝长度方向上的两端，所述气管固定在2个所述端板上，所述气管的进气端与所述流量控制阀的出气端连接，所述流量控制阀的进气端通过管路与气源连接，所述气管上具有喷嘴。

前述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备中，优选地，所述气管为环形结构。

前述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备中，优选地，所述喷嘴的喷气方向朝向所述狭缝，所述喷嘴与所述狭缝的夹角为30°-60°度。

前述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备中，优选地，所述喷嘴与所述狭缝的夹角为45°。

前述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备中，优选地，所述狭缝的内壁面为粗糙面。

前述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备中，优选地，所述隔离腔内的所述分子泵为4个。

前述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备中，优选地，所述第一泵腔和所述第二泵腔内均设有2个所述分子泵。