[实用新型]具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备

权利要求书

1.一种具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，包括第一靶材镀膜腔(1)和第二靶材镀膜腔(2)，所述第一靶材镀膜腔(1)与所述第二靶材镀膜腔(2)之间设有隔离腔(3)，其特征在于：所述隔离腔(3)通过第一隔板(5)与所述第一靶材镀膜腔(1)分隔，通过第二隔板(6)与所述第二靶材镀膜腔(2)分隔，所述第一隔板(5)和所述第二隔板(6)上均具有狭缝(7)和设有吹扫装置(8)；所述第一靶材镀膜腔(1)内靠近所述第一隔板(5)的一端设有第一泵腔(13)，所述第二靶材镀膜腔(2)内靠近所述第二隔板(6)的一端设有第二泵腔(14)，所述隔离腔(3)、所述第一泵腔(13)和所述第二泵腔(14)内均设有分子泵(4)。

2.根据权利要求1所述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，其特征在于：所述第一隔板(5)和所述第二隔板(6)上的所述吹扫装置(8)均位于所述隔离腔(3)内。

3.根据权利要求1或2所述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，其特征在于：所述吹扫装置(8)包括气管(9)、端板(10)和流量控制阀(11)，所述端板(10)为2个，分别固定在所述狭缝(7)长度方向上的两端，所述气管(9)固定在2个所述端板(10)上，所述气管(9)的进气端与所述流量控制阀(11)的出气端连接，所述流量控制阀(11)的进气端通过管路与气源连接，所述气管(9)上具有喷嘴(12)。

4.根据权利要求3所述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，其特征在于：所述气管(9)为环形结构。

5.根据权利要求3所述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，其特征在于：所述喷嘴(12)的喷气方向朝向所述狭缝(7)，所述喷嘴(12)与所述狭缝(7)的夹角为30°-60°度。

6.根据权利要求5所述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，其特征在于：所述喷嘴(12)与所述狭缝(7)的夹角为45°。

7.根据权利要求1所述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，其特征在于：所述狭缝(7)的内壁面为粗糙面。

8.根据权利要求1所述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，其特征在于：所述隔离腔(3)内的所述分子泵(4)为4个。

9.根据权利要求1所述的具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，其特征在于：所述第一泵腔(13)和所述第二泵腔(14)内均设有2个所述分子泵(4)。