[实用新型]柔性基底真空镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种柔性基底真空镀膜设备，包括连接在一起的真空镀膜腔室(1)和过渡腔室(2)，二者通过狭缝连通，还包括散热辊(3)，所述散热辊(3)通过张力调节装置(4)安装在所述过渡腔室(2)内；所述散热辊(3)包括辊体(5)和转轴(6)，所述辊体(5)固定安装在所述转轴(6)上，二者同轴设置；所述辊体(5)上设有若干个沿其轴向布置的散热通道(7)。本实用新型具有良好的散热功能，可以有效防止柔性基底褶皱。

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜设备，特别是一种柔性基底真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜设备已经广泛地应用在光伏发电领域，尤其对于柔性基底的镀膜，连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机具有镀膜效率高、结构紧凑、占地空间小等优势。

真空镀膜设备主要包括：进料室、真空镀膜腔室、过渡腔室和出料室。其中过渡腔室内设有冷却水装置，冷却水装置与辊轴连接，通过辊轴为柔性基底散热。由于从真空镀膜腔室内出来的柔性基底进入过渡腔室内，通过辊轴降温后，温差变化较大，容易造成柔性基底不平整的问题，影响柔性基底的良品率。此外，过渡腔室内的辊轴通过皮带驱动，属于主动辊，该辊轴会对柔性基底施加一定的拉力，从而影响柔性基底的表面张力，会进一步增加柔性基底褶皱的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种柔性基底真空镀膜设备，以解决现有技术中的技术问题，它具有良好的散热功能，可以有效防止柔性基底褶皱。

本实用新型提供了一种柔性基底真空镀膜设备，包括连接在一起的真空镀膜腔室和过渡腔室，二者通过狭缝连通，还包括散热辊，所述散热辊通过张力调节装置安装在所述过渡腔室内；所述散热辊包括辊体和转轴，所述辊体固定安装在所述转轴上，二者同轴设置；所述辊体上设有若干个沿其轴向布置的散热通道。

前述的柔性基底真空镀膜设备中，优选地，所述辊体上具有安装孔，所述转轴贯穿于所述安装孔，所述转轴的直径小于所述安装孔的直径，所述转轴通过连接板与所述安装孔的内壁固定连接。

前述的柔性基底真空镀膜设备中，优选地，所述连接板为一体式螺旋结构。

前述的柔性基底真空镀膜设备中，优选地，所述连接板至少为2个，相邻的所述连接板交错布置。

前述的柔性基底真空镀膜设备中，优选地，每个所述散热通道内均形成有若干个用于连通所述安装孔的通孔。

前述的柔性基底真空镀膜设备中，优选地，所述散热通道沿所述辊体端面的周向等间距布置。

前述的柔性基底真空镀膜设备中，优选地，所述散热辊的两端均设有所述张力调节装置，2个所述张力调节装置结构相同，且相对布置，二者均包括转轴安装基座、基板和外饰板，所述基板设于所述渡腔室的内壁上，所述外饰板设于所述过渡腔室的外壁上，并与所述基板通过螺栓固定连接，所述基板朝向所述散热辊的一侧设有2个相对布置的压块，所述转轴安装基座设于2个所述压块之间，并与所述压块滑动连接，所述基板上还设有第二基座，所述第二基座设于所述转轴安装基座的滑动方向上，所述第二基座上设有调节丝杆，所述调节丝杆的一端与所述转轴安装基座螺接，所述转轴可转动地安装在所述转轴安装基座上。

前述的柔性基底真空镀膜设备中，优选地，所述转轴安装基座上设有轴承安装孔，所述轴承安装孔内安装有轴承，所述转轴的两端均形成有环槽，每个所述环槽上均安装有1个U形卡环，所述U形卡环用于限制所述轴承的轴向自由度。

前述的柔性基底真空镀膜设备中，优选地，2个所述压块的外侧均设有第三基座，所述转轴安装基座朝向所述第三基座的侧面上具有腰型孔(22)，所述第三基座上安装有导向螺栓，所述导向螺栓贯穿于所述转轴安装基座并与所述腰型孔滑动配合。

前述的柔性基底真空镀膜设备中，优选地，所述基板上设有第二腰型孔，所述第二腰型孔的布置方向与所述转轴安装基座的滑动方向相同。