[实用新型]柔性基底真空镀膜设备

权利要求书

1.一种柔性基底真空镀膜设备，包括连接在一起的真空镀膜腔室(1)和过渡腔室(2)，二者通过狭缝连通，其特征在于：还包括散热辊(3)，所述散热辊(3)通过张力调节装置(4)安装在所述过渡腔室(2)内；所述散热辊(3)包括辊体(5)和转轴(6)，所述辊体(5)固定安装在所述转轴(6)上，二者同轴设置；所述辊体(5)上设有若干个沿其轴向布置的散热通道(7)。

2.根据权利要求1所述的柔性基底真空镀膜设备，其特征在于：所述辊体(5)上具有安装孔(8)，所述转轴(6)贯穿于所述安装孔(8)，所述转轴(6)的直径小于所述安装孔(8)的直径，所述转轴(6)通过连接板(9)与所述安装孔(8)的内壁固定连接。

3.根据权利要求2所述的柔性基底真空镀膜设备，其特征在于：所述连接板(9)为一体式螺旋结构。

4.根据权利要求2所述的柔性基底真空镀膜设备，其特征在于：所述连接板(9)至少为2个，相邻的所述连接板(9)交错布置。

5.根据权利要求2或3或4所述的柔性基底真空镀膜设备，其特征在于：每个所述散热通道(7)内均形成有若干个用于连通所述安装孔(8)的通孔(13)。

6.根据权利要求5所述的柔性基底真空镀膜设备，其特征在于：所述散热通道(7)沿所述辊体(5)端面的周向等间距布置。

7.根据权利要求1所述的柔性基底真空镀膜设备，其特征在于：所述散热辊(3)的两端均设有所述张力调节装置(4)，2个所述张力调节装置(4)结构相同，且相对布置，二者均包括转轴安装基座(14)、基板(15)和外饰板(16)，所述基板(15)设于所述渡腔室(2)的内壁上，所述外饰板(16)设于所述过渡腔室(2)的外壁上，并与所述基板(15)通过螺栓固定连接，所述基板(15)朝向所述散热辊(3)的一侧设有2个相对布置的压块(17)，所述转轴安装基座(14)设于2个所述压块(17)之间，并与所述压块(17)滑动连接，所述基板(15)上还设有第二基座(18)，所述第二基座(18)设于所述转轴安装基座(14)的滑动方向上，所述第二基座(18)上设有调节丝杆(19)，所述调节丝杆(19)的一端与所述转轴安装基座(14)螺接，所述转轴(6)可转动地安装在所述转轴安装基座(14)上。

8.根据权利要求7所述的柔性基底真空镀膜设备，其特征在于：所述转轴安装基座(14)上设有轴承安装孔(20)，所述轴承安装孔(20)内安装有轴承(10)，所述转轴(6)的两端均形成有环槽(11)，每个所述环槽(11)上均安装有1个U形卡环(12)，所述U形卡环(12)用于限制所述轴承(10)的轴向自由度。

9.根据权利要求7所述的柔性基底真空镀膜设备，其特征在于：2个所述压块(17)的外侧均设有第三基座(21)，所述转轴安装基座(14)朝向所述第三基座(21)的侧面上具有腰型孔(22)，所述第三基座(21)上安装有导向螺栓(23)，所述导向螺栓(23)贯穿于所述转轴安装基座(14)并与所述腰型孔(22)滑动配合。

10.根据权利要求7所述的柔性基底真空镀膜设备，其特征在于：所述基板(15)上设有第二腰型孔(24)，所述第二腰型孔(24)的布置方向与所述转轴安装基座(14)的滑动方向相同。