[实用新型]可输出正反向双向运动的压电型精密直线驱动装置

说明书

本实用新型涉及一种可输出正反向双向运动的压电型精密直线驱动装置，属于精密工程技术领域。包括底座、移动平台、定子组件和动子组件等单元，底座与定子组件通过螺栓进行连接，底座与动子组件通过螺钉进行连接，移动平台与动子组件通过螺钉进行连接。压电叠堆在激励电信号的作用下，基于其逆压电效应产生轴向伸长，使驱动足产生侧向位移，驱动移动平台产生精确直线运动，通过改变驱动电压的方向和时序，即可控制移动平台进行往复直线移动或定位。本实用新型具有结构简单、往返定位精度高以及响应速度快等诸多技术优势。本实用新型在精密工程技术领域有广泛的应用前景。

技术领域

本实用新型涉及精密工程技术领域，特别涉及一种可输出正反向双向运动的压电型精密直线驱动装置。

背景技术

近年来，随着科学技术的发展，微纳米技术在生命科学、微电子学、光学、超精密机械及其制造、精密测量、医药卫生、半导体、生物化学、数据存储等诸多学科领域中占据越来越重要的地位。微机械技术、微纳米测量技术、微纳米级的定位和驱动技术已成为当今世界高新技术领域的热门。形式各异的具有精密驱动、精密测量和精密定位功能的新型驱动装置被陆续研制开发出来。已有的驱动装置往往存在结构尺寸偏大、往返定位精度低等缺点；尽管其中也有一些驱动器输出稳定、精度高，但行程小，严重限制了其应用的范围。而压电陶瓷材料具有频率响应高、体积小、位移分辨率高、发热少、无噪声、输出力大、换能效率高、驱动力大、驱动功率低、工作频率宽、不受电磁干扰等诸多优点，因此近年来由此类元件作为精密驱动的微纳米级精密驱动器越来越受到关注。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种可输出正反向双向运动的压电型精密直线驱动装置，解决了现有技术存在的结构尺寸偏大、往返定位精度低以及行程小等技术问题。

本实用新型的上述目的通过以下技术方案实现：

可输出正反向双向运动的压电型精密直线驱动装置包括底座1、移动平台2、定子组件3和动子组件4，所述底座1 通过定子固定钉3-5与定子组件3紧固连接；所述底座1 通过导轨固定钉4-3与动子组件4紧固连接；所述移动平台2 通过台面固定钉2-2与动子组件4紧固连接；所述定子组件3 通过驱动足一3-1-1-1和驱动足二3-1-2-1与动子组件4接触配合。

所述的底座1是：固定导轨支撑面1-1设置于底座1的两侧端部，固定导轨支撑面1-1上设置有导轨固定内螺纹孔1-1-1；活动导轨活动面1-2设置于底座1的两侧端部，并靠近固定导轨支撑面1-1的内侧，其高度低于固定导轨支撑面1-1的高度，防止活动导轨活动面1-2与活动导轨4-2发生干涉；定子组件支撑柱1-3设置于底座1的上表面中部，定子组件支撑柱1-3的中部设置有定子固定内螺纹孔1-3-1。

所述的移动平台2是：台面2-1上表面两侧边缘均匀设置有沉头通孔一2-1-1，所述台面2-1的侧壁的两侧边缘设置有导轨容纳孔2-1-2，便于在移动平台2移动时固定导轨4-1的进出，防止移动平台2与固定导轨4-1发生干涉；所述移动平台2的上表面均匀设置有M行N列的内螺纹孔2-1-3，所述M、N均为大于等于1的正整数。