[实用新型]一种适用真空镀膜机的翻板阀装置

说明书

本实用新型公开了一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，包括：用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；阀板结构包括用于导通或封闭真空室与主阀腔的阀板；用于带动阀板转动的转轴机构；以及，用于驱动转轴机构旋转的驱动机构，驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；驱动部件通过齿轮齿条传动组件带动阀板转动。本实用新型实现了真空室和主阀腔间的启闭，且本装置传动方式简单实用，传动效能高，控制精确；结构紧凑，传动灵活，阀板转动无死角，阀板能紧密贴合真空室(或主阀腔)，密封效果非常理想；从而有效保证了主阀腔的洁净度，简化了主阀腔的保养工作，并延长了主阀气缸主轴的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤指一种适用真空镀膜机的翻板阀装置。

背景技术

由于由于冷冻线圈前置，使其在常态下必须与空气隔开，随即翻板阀装置应运而生。

翻板阀的目的在于在真空室交替门工作的时候，为了能够让超级冷冻机不停歇的工作，达到节约时间的目的，将冷冻线圈与大气隔开。翻板阀的另一个目的，也在于和前置初阀的配合下，保护高真空腔体不受污染。在前处理的时候，只需低真空状态就可以完成的工艺，会往腔体内注入适量硅油气体，此时只需打开初阀，而翻板阀处于关闭状态，这样多余的硅油就不会污染高真空腔体，为以后的设备保养省时省力。现有技术中，主要通过旋转气缸来实现翻板阀的启闭，但这种传动方式在气缸出现断电或断气的时候，会出现翻板阀卡死的现象，导致真空室和主阀腔之间无法导通，不便于后续的维护和维修工作，给真空镀膜机的后期维护和维修带来很大的不便。

因此，本实用新型致力于提供一种适用真空镀膜机的翻板阀装置。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，实现了真空室和主阀腔间的启闭，且本装置传动方式简单实用，传动效能高，控制精确；结构紧凑，传动灵活，阀板转动无死角，阀板能紧密贴合真空室(或主阀腔)，密封效果非常理想；从而有效保证了主阀腔的洁净度，简化了主阀腔的保养工作，并延长了主阀气缸主轴的使用寿命。

本实用新型提供的技术方案如下：

一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，包括：

用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；

所述阀板结构包括用于导通或封闭所述真空室与所述主阀腔的阀板；

用于带动所述阀板转动的转轴机构；

以及，用于驱动所述转轴机构的驱动机构，所述驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；

所述驱动部件通过所述齿轮齿条传动组件带动所述阀板转动。

本技术方案中，通过齿轮齿板驱动转轴机构进而带动阀板的启闭的传动方式简单实用，传动效能高，控制精确；结构紧凑，传动灵活，阀板转动无死角，阀板能紧密贴合真空室(或主阀腔)，密封效果非常理想；因为采用齿轮齿条传动非常灵活精密，因而各部件拆卸十分简单，方便维护和更换各种部件；由于传动方式为齿轮齿条传动，因此，即使驱动部件因故停工，阀板也可通过人工方式将其进行打开，使得真空室和主阀腔之间实行导通，不会出现阀板卡死等不良现象，大大简化了本装置后期的维护和维修工作；且齿轮和齿条传动的方式可精确调整阀板的开度，且转轴机构使得本装置无需精密调节并可实现阀板与真空室(或主阀腔)的良好密封效果。且本装置的设置，使得真空室和主阀腔只有在必要的时候才导通，而在非必要时候处于封闭的状态，从而保护了特别是真空室存在工质气体(如硅油等)时，有效避免了该工质气体进入主阀腔内从而污染设置于主阀腔内的冷冻线圈、主阀气缸主轴等，从而保证了主阀腔与冷冻线圈的洁净，进而避免了主阀腔内的打磨、清扫等保养工作；并延长了主阀气缸主轴的使用寿命。

进一步优选地，所述转轴机构包括主旋转轴、悬架以及支撑块；所述主旋转轴与所述齿轮齿条传动组件连接；所述支撑块设于所述阀板的表面上；所述主旋转轴通过所述悬架与所述支撑块连接。