[实用新型]一种适用真空镀膜机的翻板阀装置

权利要求书

1.一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于，包括：

用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；

所述阀板结构包括用于导通或封闭所述真空室与所述主阀腔的阀板；

用于带动所述阀板转动的转轴机构；

以及，用于驱动所述转轴机构的驱动机构，所述驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；

所述驱动部件通过所述齿轮齿条传动组件带动所述阀板转动。

2.根据权利要求1所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述转轴机构包括主旋转轴、悬架以及支撑块；

所述主旋转轴与所述齿轮齿条传动组件连接；

所述支撑块设于所述阀板的表面上；

所述主旋转轴通过所述悬架与所述支撑块连接。

3.根据权利要求2所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述转轴机构还包括次旋转轴和轴承；

所述支撑块为两个，包括第一支撑块和第二支撑块；

所述悬架为两个，包括第一悬架和第二悬架；

所述次旋转轴与所述主旋转轴平行设置，且所述旋转轴的两端分别贯穿所述第一支撑块和第二支撑块后，分别与所述第一悬架和所述第二悬架连接；

所述轴承套设于所述旋转轴的外侧，并安装于所述支撑块。

4.根据权利要求3所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述转轴机构还包括用于限制所述次旋转轴沿垂直于所述主旋转轴的轴线方向上的位移的限位组件，

所述限位组件安装于所述阀板的表面上，并设于所述第一支撑块和所述第二支撑块之间。

5.根据权利要求4所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述限位组件包括支撑座、第一限位块和第二限位块；

所述支撑座设于所述阀板的表面；

所述第一限位块和所述第二限位块设于所述支撑座，并沿垂直于所述主旋转轴的轴线方向上分布，使得所述次旋转轴设于所述第一限位块和所述第二限位块之间。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述阀板结构设有两个。

7.根据权利要求6所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于，还包括：

设置于所述真空室和所述主阀腔之间的阀框组件，所述阀框组件包括阀框和固定块；

所述阀框设有两个与所述阀板相适配的门洞，两个所述门洞之间设有隔板；

所述固定块设于所述阀框上；

所述转轴机构轴接于所述固定块上。

8.根据权利要求1-5任意一项所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述驱动部件为气缸；

所述齿轮齿条传动组件包括齿轮和齿条板；

所述齿条板与所述气缸的推杆连接；

所述齿轮与所述转轴机构的主旋转轴连接；

所述齿条板与所述齿轮啮合。

9.根据权利要求1-5或7任意一项所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述阀板结构为铝材；

和/或，

所述阀板靠近所述真空室一侧的表面设有内衬，所述内衬与所述阀板可拆卸式连接；

和/或，

所述转轴机构与所述阀板可拆卸式连接。

10.一种真空镀膜机，其特征在于，包括：

上述权利要求1-9任意一项所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置；以及，冷冻线圈；

所述冷冻线圈放置于主阀腔内；

所述翻板阀装置设于真空室和所述主阀腔之间，并导通或封闭所述真空室和所述主阀腔。