[实用新型]蒸发源及蒸镀设备

说明书

本实用新型提供了一种蒸发源及蒸镀设备，该蒸发源包括：坩埚，所述坩埚具有用于盛放蒸镀材料的容置腔，且所述容置腔包括多个蒸镀区；加热单元，用于加热所述坩埚内的蒸镀材料，设置于所述坩埚上；检测部件，用于检测各所述蒸镀区的蒸镀状态，设置在所述坩埚上，所述蒸镀状态包括蒸镀速率；用于对各蒸镀区的蒸镀温度进行调节的调温部件，设置在所述坩埚上；以及，用于根据所述检测部件所检测到的各所述蒸镀区的蒸镀状态，控制所述调温部件对各所述蒸镀区的蒸镀温度进行调节的控制单元，所述控制单元与所述检测部件和所述调温部件分别连接。本实用新型能够实时监控坩埚内蒸镀状态，实现膜厚均一性可控的目的。

技术领域

本实用新型涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种蒸发源及蒸镀设备。

背景技术

真空蒸镀是目前制备OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)器件的主要制备方式，真空蒸镀设备利用热蒸发的方式使得有机发光材料沉积在基板上，形成均匀致密的薄膜。蒸镀有机材料的蒸发源装置对于蒸镀有机材料的膜层起到至关重要的作用，现有技术中蒸发源装置存在以下问题：

现有技术中蒸发源装置的坩埚内蒸镀材料的消耗速率无法实时监控，对于蒸镀速率不能实时调整，膜厚均一性不可控；此外，当坩埚内的蒸镀材料低于一定量时，影响蒸镀产品特性，因此通常坩埚内会有一定的剩余量，当坩埚内的蒸镀材料剩余量过多时，由于OLED用蒸镀材料价格昂贵，会导致材料的浪费，增加生产的成本，而当坩埚内蒸镀材料剩余量偏小时，又会影响产品的特性；此外，坩埚内的喷嘴有时会发生堵塞等异常，而现有技术中不能及时发现喷嘴堵塞等异常，而导致产品特性受影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蒸发源及蒸镀设备，能够实现蒸镀过程中蒸镀温度可调，达到膜厚均一性可控的目的。

本实用新型所提供的技术方案如下：

一种蒸发源，包括：

坩埚，所述坩埚具有用于盛放蒸镀材料的容置腔，且所述容置腔包括多个蒸镀区；

加热部件，用于加热所述坩埚内的蒸镀材料，设置于所述坩埚上；

检测部件，用于检测各所述蒸镀区的蒸镀状态，设置在所述坩埚上，所述蒸镀状态包括蒸镀速率；

调温部件，用于对各所述蒸镀区的蒸镀温度进行调节，设置在所述坩埚上；

以及，控制单元，用于根据所述检测部件所检测到的各所述蒸镀区的所述蒸镀状态，控制所述调温部件对各所述蒸镀区的蒸镀温度进行调节，所述控制单元与所述检测部件和所述调温部件分别连接。

进一步的，所述检测部件包括：

用于检测所述坩埚的各所述蒸镀区盛放的蒸镀材料量的多个第一感应器，所述多个第一感应器设置在所述坩埚上，且每一所述蒸镀区对应设置至少一个所述第一感应器；

以及，第一处理器，用于根据所述第一感应器所检测到的各所述蒸镀区内盛放的蒸镀材料量以及各所述蒸镀区的蒸镀时间，获取各所述蒸镀区的蒸镀速率。

进一步的，所述第一感应器包括重量感应器，所述重量感应器设置在所述坩埚的底部、且对应于各所述蒸镀区设置，用于检测各所述蒸镀区盛放的蒸镀材料的重量。

进一步的，所述调温部件包括：

至少一块反射板，所述反射板在所述蒸镀区对应位置时，能够提高所述反射板当前所对应的蒸镀区内的蒸镀温度；

以及，移动组件，用于移动所述反射板，所述移动组件包括沿多个所述蒸镀区的排列方向延伸的轨道，所述反射板可移动地设置在所述轨道上；

所述控制单元包括：