[实用新型]一种等离子处理真空箱体指纹模组物料架有效
| 申请号： | 201721587523.6 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN207398062U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 刘向伟;刘善石 | 申请（专利权）人： | 昆山索坤莱机电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 处理 真空 箱体 指纹 模组 物料 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子处理真空箱体指纹模组物料架，真空箱体(1)内两侧为固定侧板(2)，固定侧板(2)上设有若干绝缘滑道(3)，物料架(4)通过绝缘滑道(3)设置在真空箱体(1)内，物料架(4)的上方安装有极板(5)，其特征在于：所述物料架(4)由物料托架(6)和物料载具(7)组成，所述物料托架(6)上设有若干均匀排布设置的圆形的物料载具(7)，物料载具(7)底部通过支撑柱(8)固定在物料托架(6)上，所述物料载具(7)的表面设有若干用于放置指纹模组的载物槽(9)，所述物料托架(6)上设有若干通气孔(10)。
2.根据权利要求1所述的一种等离子处理真空箱体指纹模组物料架，其特征在于：所述通气孔(10)为方形通气孔。
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