[实用新型]一种小型化一体式超声辅助型MOS气体传感器有效
| 申请号： | 201721505833.9 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN207457138U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 胡俊辉;罗钊 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属壳体 励振装置 传感材料 加热电阻 本实用新型 气体传感器 超声辅助 电极 声场 表面运动 电极顶端 激励电压 几何中心 气体分子 粘结固定 壳体腔 灵敏度 上表面 体积小 下表面 传感器 声压 装配 施加 驱动 贯穿 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种小型化一体式超声辅助型MOS气体传感器，其特征在于，包括：励振装置(1)、金属壳体(2)、加热电阻(3)、MOS传感材料(4)、电极(5)；励振装置(1)粘结固定于金属壳体(2)的下表面，电极(5)贯穿于励振装置(1)和金属壳体(2)，加热电阻(3)固定在电极(5)顶端，处于金属壳体(2)的几何中心，MOS传感材料(4)固定于加热电阻(3)的上表面。
2.根据权利要求1所述的一种小型化一体式超声辅助型MOS气体传感器，其特征在于，励振装置(1)由单层圆环状压电片构成。
3.根据权利要求1所述的一种小型化一体式超声辅助型MOS气体传感器，其特征在于，励振装置(1)的工作频率范围是16KHz-100MHz。
4.根据权利要求1所述的一种小型化一体式超声辅助型MOS气体传感器，其特征在于，金属壳体(2)为中心对称体。
5.根据权利要求1所述的一种小型化一体式超声辅助型MOS气体传感器，其特征在于，加热电阻(3)的工作温度为50-300℃。
6.根据权利要求1所述的一种小型化一体式超声辅助型MOS气体传感器，其特征在于，MOS传感材料(4)采用膜材料、体材料或纳米材料。
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