[实用新型]一种硅片翻转装置

说明书

本实用新型涉及一种硅片翻转装置，包括台架，伸缩气缸，翻转组件和转台组件，所述伸缩气缸设置在台架上，台架上设有导向柱，转台组件设置在导向柱上，转台组件与伸缩气缸通过伸缩杆连接，转台组件包括转台和摆动气缸，转台设置在摆动气缸上方且与摆动气缸连接，所述翻转组件设置在转台上方，翻转组件包括旋转气缸，翻转臂，吸盘和真空发生器，所述翻转臂设置在旋转气缸两侧且与旋转气缸连接，所述吸盘设置在翻转臂上，真空发生器设置在旋转气缸上，吸盘与真空发生器连通。本实用新型能够调节翻转组件的水平位置及角度，使用更灵活方便；此外，能够使硅片实现翻转、移动和转动，实现硅片位置多向变换。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备，特别涉及一种硅片翻转装置。

背景技术

硅片就是以硅为材料制造的片状物体，一般是指纯度很高的结晶硅（单晶硅）制成的，单晶硅的分子结构非常稳定。硅片在生产过程中，需要将硅片进行翻转，从而使其变换加工面；此外，当硅片加工时，也需要对其进行翻转检查。现有的硅片翻转装置通常设置在输送线旁，通过翻转机构使得硅片旋转，其翻转机构的位置和角度难以调整。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术的问题，提供了一种能够多向变换，提升生产效率，成本较低的硅片翻转装置。

具体技术方案如下：一种硅片翻转装置，包括台架，伸缩气缸，翻转组件和转台组件，所述伸缩气缸设置在台架上，台架上设有导向柱，转台组件设置在导向柱上，转台组件与伸缩气缸通过伸缩杆连接，转台组件包括转台和摆动气缸，转台设置在摆动气缸上方且与摆动气缸连接，所述翻转组件设置在转台上方，翻转组件包括旋转气缸，翻转臂，吸盘和真空发生器，所述翻转臂设置在旋转气缸两侧且与旋转气缸连接，所述吸盘设置在翻转臂上，真空发生器设置在旋转气缸上，吸盘与真空发生器连通。

以下为本实用新型的附属技术方案。

作为优选方案，台架包括第一支撑架和第二支撑架，导向柱设置在第一、第二支撑架之间，所述第一支撑架设有缓冲器，缓冲器位于伸缩杆侧面且平行于伸缩杆。

作为优选方案，所述转台组件包括连接板，连接板包括底板和竖板，竖板垂直于底板，所述底板与转台连接，所述旋转气缸与竖板连接。

作为优选方案，竖板具有多个安装孔，安装孔沿竖直方向排布。

作为优选方案，所述竖板两侧设有定位板，定位板具有卡槽，卡槽横向设置。

本实用新型的技术效果：本实用新型的一种硅片翻转装置能够调节翻转组件的水平位置及角度，使用更灵活方便；此外，能够使硅片实现翻转、移动和转动，实现硅片位置多向变换。

附图说明

图1是本实用新型实施例的一种硅片翻转装置的示意图。

图2是本实用新型实施例的一种硅片翻转装置的俯视图。

图3是本实用新型实施例的一种硅片翻转装置的侧视图。

具体实施方式

下面，结合实例对本实用新型的实质性特点和优势作进一步的说明，但本实用新型并不局限于所列的实施例。