[实用新型]一种硅片翻转装置

权利要求书

1.一种硅片翻转装置，其特征在于，包括台架，伸缩气缸，翻转组件和转台组件，所述伸缩气缸设置在台架上，台架上设有导向柱，转台组件设置在导向柱上，转台组件与伸缩气缸通过伸缩杆连接，转台组件包括转台和摆动气缸，转台设置在摆动气缸上方且与摆动气缸连接，所述翻转组件设置在转台上方，翻转组件包括旋转气缸，翻转臂，吸盘和真空发生器，所述翻转臂设置在旋转气缸两侧且与旋转气缸连接，所述吸盘设置在翻转臂上，真空发生器设置在旋转气缸上，吸盘与真空发生器连通。

2.如权利要求1所述的一种硅片翻转装置，其特征在于，台架包括第一支撑架和第二支撑架，导向柱设置在第一、第二支撑架之间，所述第一支撑架设有缓冲器，缓冲器位于伸缩杆侧面且平行于伸缩杆。

3.如权利要求2所述的一种硅片翻转装置，其特征在于，所述转台组件包括连接板，连接板包括底板和竖板，竖板垂直于底板，所述底板与转台连接，所述旋转气缸与竖板连接。

4.如权利要求3所述的一种硅片翻转装置，其特征在于，竖板具有多个安装孔，安装孔沿竖直方向排布。

5.如权利要求4所述的一种硅片翻转装置，其特征在于，所述竖板两侧设有定位板，定位板具有卡槽，卡槽横向设置。