[实用新型]用于经模制引线框薄片的单个化组合件有效
申请号: | 201721496305.1 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN207624667U | 公开(公告)日: | 2018-07-17 |
发明(设计)人: | A·J·希德劳;L·阿奎诺;J·友肃 | 申请(专利权)人: | 德州仪器公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 林斯凯 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 卡盘台 组合件 锯切 模制引线框 单个化 平坦上表面 啮合 集成电路封装 机械夹紧 流体连通 申请案 真空源 翘曲 关联 支撑 | ||
1.一种用于经模制引线框薄片的单个化组合件,其特征在于所述单个化组合件包括:
锯切卡盘台,其具有其中具有多个孔的上表面;
真空源,其与所述多个孔流体连通;及
机械夹紧组合件,其与所述锯切卡盘台以操作方式相关联且适于与支撑于所述锯切卡盘台的所述上表面上的翘曲经模制引线框薄片的预定部分可选择性地啮合。
2.根据权利要求1所述的单个化组合件,其特征在于所述夹紧组合件包括定位于所述锯切卡盘台的第一侧上的第一夹紧单元及定位于所述锯切卡盘台的与所述第一侧相对的第二侧上的第二夹紧单元。
3.根据权利要求2所述的单个化组合件,其特征在于所述第一夹紧单元可围绕平行于所述锯切卡盘台的所述第一侧延伸的枢转轴线以枢转方式位移。
4.根据权利要求3所述的单个化组合件,其特征在于所述第一夹紧单元包括适于啮合所述翘曲经模制引线框薄片的非模制边缘部分的伸长部件及附接到所述伸长部件且横向于所述伸长部件延伸的横向部件。
5.根据权利要求4所述的单个化组合件,其特征在于所述横向部件以枢转方式附接到所述锯切卡盘台。
6.根据权利要求3所述的单个化组合件,其特征在于所述第一夹紧单元可通过旋转式传动器旋转。
7.根据权利要求1所述的单个化组合件,其特征在于所述机械夹紧组合件包括真空力传感器,且其中所述机械夹紧组合件适于响应于来自所述真空力传感器的信号而被致动。
8.根据权利要求7所述的单个化组合件,其特征在于所述机械夹紧组合件适于响应于指示由所述真空源产生的真空力低于预定值的真空力传感器信号而被致动。
9.根据权利要求2所述的单个化组合件,其特征在于所述第一及第二夹紧单元中的每一者包括与翘曲经模制引线框薄片呈啮合关系的第一操作位置及与所述翘曲经模制引线框薄片呈脱离关系且与单个化锯呈不干扰关系的第二操作位置,所述单个化锯适于将所述翘曲经模制引线框薄片的经模制部分单个化。
10.根据权利要求1所述的单个化组合件,其特征在于所述真空源适于提供足以在所述锯切卡盘台的所述上表面与支撑于所述上表面上的非翘曲经模制引线框薄片之间形成真空密封的真空力。
11.根据权利要求10所述的单个化组合件,其特征在于所述机械夹紧组合件适于提供在与所述真空力组合时会在所述翘曲经模制引线框薄片与所述锯切卡盘台的所述上表面之间形成真空密封的力。
12.根据权利要求11所述的单个化组合件,其特征在于所述真空源适于提供在于所述翘曲经模制引线框薄片与所述锯切卡盘台的所述上表面之间形成真空密封之后在去除由所述机械夹紧组合件施加的所述力之后维持所述真空密封的真空力。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造