[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括外部封装结构(11)和设置在所述外部封装结构(11)内的麦克风芯片(12)；

在所述外部封装结构(11)上设置有进声孔(111)；所述麦克风芯片(12)对应所述进声孔(111)设置；

所述麦克风芯片(12)包括振膜(121)、第一背极板(122)和第二背极板(123)；

所述第一背极板(122)设置在所述振膜(121)靠近所述进声孔(111)一侧，所述第二背极板(123)设置在所述振膜(121)远离所述进声孔(111)一侧；

在所述第一背极板(122)与所述振膜(121)之间设置有第一间隙(124)，在所述第二背极板(123)与所述振膜(121)之间设置有第二间隙(125)；

在所述第一背极板(122)上开设有第一通气孔(126)；在所述第二背极板(123)上开设有第二通气孔(127)；

其特征在于：所述第一通气孔(126)的截面尺寸小于所述第二通气孔(127)的截面尺寸。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：

所述第一通气孔(126)的外接圆半径小于2.50um。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：

所述第一通气孔(126)为圆形孔；

所述第一通气孔(126)的半径在1.50um-2.50um之间。

4.根据权利要求1-3任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于：

所述第一背极板(122)与所述振膜(121)相对的面积等于所述第二背极板(123)与所述振膜(121)相对的面积；

所述第一通气孔(126)在所述第一背极板(122)上的面积比等于所述第二通气孔(127)在所述第二背极板(123)上的面积比。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：

所述第二通气孔(127)的半径在3.00-4.00um之间。

6.根据权利要求1-3任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于：

所述第一通气孔(126)的数量大于所述第二通气孔(127)的数量。

7.根据权利要求1-3任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于：

所述外部封装结构(11)包括基板(112)和外壳(113)；

所述基板(112)与所述外壳(113)围成收容腔体，所述麦克风芯片(12)设置在所述基板(112)上。

8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于：

所述进声孔(111)设置在所述基板(112)上；

所述第一背极板(122)设置在所述振膜(121)靠近所述基板(112)一侧。

9.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于：

所述进声孔(111)设置在所述外壳(113)上；

所述第一背极板(122)设置在所述振膜(121)远离所述基板(112)一侧。