[实用新型]一种提高碳化硅晶棒切割品质的切割机构

权利要求书

1.一种提高碳化硅晶棒切割品质的切割机构，包括工作台进给机构(1)、工作台(7)、切削液喷头(8)和切割机构(9)，其特征在于：所述工作台进给机构(1)上方设置有固定板(3)，且工作台进给机构(1)下方设置有限位调节座(6)，所述限位调节座(6)上方中部固定有升降气缸(5)，且升降气缸(5)上端与固定板(3)固定连接在一起，所述升降气缸(5)侧面限位调节座(6)固定有导向柱(2)，且导向柱(2)与固定板(3)侧面设置的导套(4)连接在一起，所述限位调节座(6)下方通过销轴(14)连接有工作台(7)，且工作台(7)下方固定有鸠尾座(13)，所述鸠尾座(13)两侧均设置有切削液喷头(8)，且鸠尾座(13)下方与切割机构(9)相对应。

2.根据权利要求1所述的一种提高碳化硅晶棒切割品质的切割机构，其特征在于：所述工作台进给机构(1)由导向柱(2)、固定板(3)、导套(4)、升降气缸(5)和限位调节座(6)共同构成，且固定板(3)下方设置的两组导套(4)与限位调节座(6)上方设置的两组导向柱(2)结构相匹配，同时工作台进给机构(1)设置向上和向下行程量为0.5-10mm。

3.根据权利要求1所述的一种提高碳化硅晶棒切割品质的切割机构，其特征在于：所述限位调节座(6)下方通过销轴(14)与工作台(7)上方弧形结构滑动连接在一起，且工作台(7)在限位调节座(6)上的摇摆角度为2-10°。

4.根据权利要求1所述的一种提高碳化硅晶棒切割品质的切割机构，其特征在于：所述切割机构(9)为往复式高速切割结构，且切割机构(9)有侧面的槽轮(10)以及槽轮(10)中部安装的钻石线(11)共同构成，同时钻石线(11)为电镀金刚石切割线，并且电镀金刚石切割线的电镀金刚石颗粒粒径为15-25μm。

5.根据权利要求1所述的一种提高碳化硅晶棒切割品质的切割机构，其特征在于：所述鸠尾座(13)下端通过AB胶粘结有与钻石线(11)相对应的碳化硅晶体(12)，且鸠尾座(13)上端安装拆卸在工作台(7)底部。