[实用新型]一种双磷源喷淋管高密度扩散装置

说明书

本实用新型公开一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，包括：扩散炉、设置在扩散炉内腔上方的喷淋管及设置在扩散炉内腔下方的热电偶管和排气管，喷淋管为两个，两个所述喷淋管以扩散炉中心轴线为基准对称设置在扩散炉内腔上方左右两侧，喷淋管上从左到右依次设有第一喷淋部、第二喷淋部和第三喷淋部。使喷淋管上的喷淋孔直接对硅片部位喷淋氮气、氧气和磷源，使扩散炉管内部通入的氮气、氧气、磷源混合更加均匀，喷射面积大，进而使扩散反应更为均匀，硅片方块电阻均匀性得到改善。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，特别是涉及一种双磷源喷淋管高密度扩散装置。

背景技术

随着常规能源的逐步枯竭和对能源需求的日益剧增，人类面临着越来越严重的能源危机，而发展太阳能电池是解决上述问题的途径之一。在晶体硅太阳能电池的生产过程中，扩散设备是扩散工序制备PN结的重要设备，其主要作用是作为硅片扩散工序的反应腔。

常规扩散设备使用500片石英舟，而为了提高生产效率，逐渐采用1000片石英舟。为保证方块电阻符合工艺需求，需适当延长工艺时间，但由于使用1000片高密度石英舟，扩散工序产能可以提升80％以上。

现有的扩散炉反应腔包括圆柱形扩散炉管，扩散炉管底部圆形端面安装有用于向扩散炉管内通入氮气、氧气、磷源的进气管，用于监控扩散炉管内温度的热电偶管、用于排出扩散炉管内废气的排气管，进气管位于圆形端面的中心位置，热电偶管和排气管均位于圆形端面的底端位置，针对1000片高密度石英舟，上述现有的扩散炉管反应腔存在以下不足：由于硅片之间间隔变为原间隔的1/2，氮气、氧气、磷源均从扩散炉管的中心位置通入，造成氮气、氧气和磷源在扩散工序过程中混合不够均匀，硅片的方块电阻均匀性受到影响。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，以解决上述现有技术存在的问题，使光伏组件在扩散工序过程中氮气、氧气和磷源的混合均匀，提高了硅片的方块电阻的均匀性。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，包括：扩散炉、设置在扩散炉内腔上方的喷淋管以及设置在扩散炉内腔下方的热电偶管和排气管，其特征在于：所述喷淋管为两个，两个所述喷淋管以扩散炉中心轴线为基准对称设置在扩散炉内腔上方左右两侧，两个所述喷淋管轴心线分别与所述扩散炉轴心线所形成的平面夹角为75-85°，所述喷淋管上从左到右依次设有第一喷淋部、第二喷淋部和第三喷淋部。

优选的，所述第一喷淋部包括设置在所述喷淋管上的喷淋孔，所述喷淋孔包括所述喷淋管上设有的第一排喷淋孔、对称设置在第一排喷淋孔左右两侧的第二排喷淋孔和第三排喷淋孔。

优选的，所述喷淋孔沿所述喷淋管长度方向上孔距相等，所述孔距为4-5mm。

优选的，所述第一排喷淋孔的喷淋孔圆心在所述喷淋管中心轴线与所述扩散炉中心轴线所形成的平面内，所述第二排喷淋孔的喷淋孔圆心所在的直线和所述喷淋管中心轴线所形成的平面与所述第三排喷淋孔的喷淋孔圆心所在的直线和所述喷淋管中心轴线所形成的平面夹角为95-115°。

优选的，所述第二喷淋部和第三喷淋部与所述第一喷淋部结构相同。

优选的，所述喷淋孔数量为960-1100个，所述第一喷淋部与所述第三喷淋部的喷淋孔数量相同，所述第二喷淋部的喷淋孔数量为所述第一喷淋部的喷淋孔数量的两倍。

优选的，所述第一喷淋部的喷淋孔直径为0.5mm，所述第二喷淋部的喷淋孔直径为0.4mm，所述第三喷淋部的喷淋孔直径为0.3mm。

优选的，所述喷淋管左端设有与所述扩散炉连接的吊环，所述喷淋管右端连接供气系统。

优选的，所述喷淋管、热电偶管和排气管的中心轴线与所述扩散炉的中心轴线平行设置。