[实用新型]一种双磷源喷淋管高密度扩散装置

权利要求书

1.一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，包括：扩散炉(1)、设置在扩散炉(1)内腔上方的喷淋管(2)以及设置在扩散炉(1)内腔下方的热电偶管(3)和排气管(4)，其特征在于：所述喷淋管(2)为两个，两个所述喷淋管(2)以扩散炉(1)中心轴线为基准对称设置在扩散炉(1)内腔上方左右两侧，两个所述喷淋管(2)轴心线分别与所述扩散炉(1)轴心线所形成的平面夹角为75-85°，所述喷淋管(2)上从左到右依次设有第一喷淋部(5)、第二喷淋部(6)和第三喷淋部(7)。

2.根据权利要求1所述的一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，其特征在于：所述第一喷淋部(5)包括设置在所述喷淋管(2)上的喷淋孔(8)，所述喷淋孔(8)包括所述喷淋管(2)上设有的第一排喷淋孔(9)、对称设置在第一排喷淋孔(9)左右两侧的第二排喷淋孔(10)和第三排喷淋孔(11)。

3.根据权利要求2所述的一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，其特征在于：所述喷淋孔(8)沿所述喷淋管(2)长度方向上孔距相等，所述孔距为4-5mm。

4.根据权利要求2所述的一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，其特征在于：所述第一排喷淋孔(9)的喷淋孔圆心在所述喷淋管(2)中心轴线与所述扩散炉(1)中心轴线所形成的平面内，所述第二排喷淋孔(10)的喷淋孔圆心所在的直线和所述喷淋管(2)中心轴线所形成的平面与所述第三排喷淋孔(11)的喷淋孔圆心所在的直线和所述喷淋管(2)中心轴线所形成的平面夹角为95-115°。

5.根据权利要求1所述的一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，其特征在于：所述第二喷淋部(6)和第三喷淋部(7)与所述第一喷淋部(5)结构相同。

6.根据权利要求2所述的一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，其特征在于：所述喷淋孔(8)数量为960-1100个，所述第一喷淋部(5)与所述第三喷淋部(7)的喷淋孔数量相同，所述第二喷淋部(6)的喷淋孔数量为所述第一喷淋部(5)的喷淋孔数量的两倍。

7.根据权利要求1所述的一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，其特征在于：所述第一喷淋部(5)的喷淋孔直径为0.5mm，所述第二喷淋部(6)的喷淋孔直径为0.4mm，所述第三喷淋部(7)的喷淋孔直径为0.3mm。

8.根据权利要求1所述的一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，其特征在于：所述喷淋管(2)左端设有与所述扩散炉(1)连接的吊环，所述喷淋管(2)右端连接供气系统。

9.根据权利要求1所述的一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，其特征在于：所述喷淋管(2)、热电偶管(3)和排气管(4)的中心轴线与所述扩散炉(1)的中心轴线平行设置。

10.根据权利要求1所述的一种双磷源喷淋管高密度扩散装置，其特征在于：所述热电偶管(3)和所述排气管(4)以所述扩散炉(1)中心轴线为基准对称设置在扩散炉(1)内腔下方左右两侧，所述热电偶管(3)轴心线和所述排气管(4)中心轴线分别与所述扩散炉(1)中心轴线所形成的平面夹角为25-35°。