[实用新型]一种用于分析大尺寸试样组织的电子探针样品台

说明书

一种用于分析大尺寸试样组织的电子探针样品台，包括样品台基座，样品台基座其具体为一上、下表面均为长方形的水平基座，在该样品台基座的上表面的两侧各设置有呈相对且对称的试样插片台，而在样品台基座的底部设置有定位撑脚，试样插片台内设置有可调节高度的水平插片，将试样置于该水平插片上，电子探针再对试样进行组织分析。本实用新型可用于大尺寸试样的分析，且本实用新型采用凹槽+插片的调节方式，配合电子探针自身的能力，可分析不同高度的样品，装载速度快，空间利用率高，在同等样品台尺寸下可装载样品的最大高度更大；另外，本实用新型其凹槽深度的存在使得固定更为稳固，在高度方向的稳定性上明显高于现有技术的螺丝固定的方式。

技术领域

本实用新型涉及分析、测量、计算仪器，尤其涉及一种应用于大尺寸试样组织分析的电子探针样品台，对大尺寸试样组织的定性及定量表征进行分析，析出相比例与铸锭表面距离的关系。

背景技术

目前，在各种试样组织的分析领域中经常使用到了一种电子探针，其原理是利用聚焦的高能电子束轰击固体表面，使被轰击的元素激发出特征X射线，然后按其波长及强度对固体表面微区进行定性及定量分析，该技术主要用来分析固体物质表面的细小颗粒或微小区域，其最小范围直径为1μm左右。现有技术下的电子探针有三种基本工作方式：点分析、线分析和面分析，其中面分析用于观察元素在选定微区内浓度分布，利用该功能可以对铸锭内组织的形状和分布进行定量分析，来研究冶炼工艺对组织的影响。

在各种冶金制品中，镍基合金、钛合金以及各种特种不锈钢与碳钢和普通不锈钢产品相比，其铸锭组织对最终产品的影响更为强烈，因此对于铸锭组织的定性和定量表征的需求也更为迫切。而由于电子探针主要用于微观区域内元素含量的定量和定性分析，因此现有技术下的各个样品台生产厂家的产品能装载的样品尺寸都很小，例如日本岛津的EPMA1720，其自带的样品台最大只能装载的试样，其尺寸过小，无法满足对于铸锭样品的分析。

公开号CN201620425695.2的中国专利，一种电子探针地质薄片样品台，涉及了电子探针的样品台设计，其设计思路是为了提高电子探针实验效率，减少更换样品的频率。原有样品台一次只能放置四个地质薄片(分析样品)，通过其连杆和分割杆的设计，其可以一次放置六个地质薄片。但该专利只是增加了样品放置数量和效率，还是无法针对大尺寸的试样。

公开号KR20130002196的韩国专利，给出了一种用于电子探针分析的固定板状试样的样品台，这种设计实现了大样品的装夹，可对大尺寸铸锭样品进行电子探针面分析，但其设计存在如下缺点：

1.其在水平方向上采用螺纹固定，这就要求固定面的螺纹端部和试样端部必须有良好的平行面，否则这种固定方式并不稳定，尤其当试样较重时，在长时间(2～3小时)的分析过程中试样会产生沉降，造成分析结果不稳定；

2.螺纹的固定方式限制了试样的尺寸，及试样长度方向的长度只能略小于夹具尺寸，如果相差太大，螺丝长度有限，则无法实现固定；

3.夹持方式无法进行较薄试样的分析，如果试样较薄，则螺丝加力固定时，会造成试样变形，产生凹度或凸度，而电子探针面分析时要求试样为平面，从而引起误差；

4.在样品下部设计了一个支撑部件，但这种设计反而限制了分析样品的最大高度。

综上所述，现有技术下的各种样品台，存在无法针对大尺寸的试样、固定方式不佳、试样尺寸受限、夹持方式容易引起误差和试样放置高度有限的问题，故现迫切需要一种新型的可用于分析大尺寸试样组织的电子探针样品台。

实用新型内容