[实用新型]硅片自动清洗脱胶一体机的输送装置

权利要求书

1.硅片自动清洗脱胶一体机的输送装置，所述硅片自动清洗脱胶一体机包括输送装置和清洗脱胶装置(1)；所述清洗脱胶装置(1)设置在输送装置的上方；其特征在于：所述输送装置包括两个水平输送装置以及翻面输送装置(2)；

所述翻面输送装置(2)包括两条平行的滑道(7)；所述滑道(7)上设置有支撑座(3)；两条所述滑道之间设置有硅片输送装置(22)；两条所述滑道(7)的中间位置均设置有硅片旋转夹盘(21)；所述硅片旋转夹盘(21)位于两条所述滑道(7)之间；两个所述硅片旋转夹盘(21)之间具有安装硅片输送装置(22)的间距；两个所述硅片旋转夹盘(21)的转轴共线；

所述硅片旋转夹盘(21)包括转盘(211),所述转盘(211)上设置有沿圆周均匀分布的夹片组；所述夹片组具有偶数组；所述夹片组包括两片夹片(212)，所述两片夹片(212)之间具有与硅片匹配的夹槽(213)；

所述滑道(7)上设置有驱动两个所述硅片旋转夹盘(21)中任意一个或者两个转动的第二驱动电机(23)；

所述滑道(7)上安装有硅片移动到夹槽(213)时控制硅片输送装置(22)制动，且控制第二驱动电机(23)启动的限位开关(24)；

所述翻面输送装置(2)位于两个水平输送装置之间；所述两条所述滑道(7)位于水平输送装置的两侧。

2.如权利要求1所述的硅片自动清洗脱胶一体机的输送装置，其特征在于：所述水平输送装置包括至少两根皮带(6)；所述皮带(6)两端均设置有传动轴(4)；所述传动轴(4)上设置有至少两个皮带轮(5)，所述皮带轮(5)与皮带(6)一一对应；所述皮带(6)与皮带轮(5)传动连接；所述传动轴(4)两端设置有支撑座(3)；两根传动轴(4)中任意一根的支撑座(3)上设置有驱动传动轴(4)转动的第一驱动电机。

3.如权利要求2所述的硅片自动清洗脱胶一体机的输送装置，其特征在于：所述硅片输送装置(22)包括橡胶皮带(222)，所述橡胶皮带(222)两端均设置有第二支撑座(221)，所述橡胶皮带(222)与第二支撑座(221)传动连接，且第二支撑座(221)上设置有驱动橡胶皮带(222)转动的驱动装置；所述橡胶皮带(222)与滑道(7)平行，且平齐。

4.如权利要求2所述的硅片自动清洗脱胶一体机的输送装置，其特征在于：所述滑道(7)上安装有硅片旋转夹盘(21)的位置设置有挡板(25)，所述挡板(25)位于硅片旋转夹盘(21)的外侧。

5.如权利要求2所述的硅片自动清洗脱胶一体机的输送装置，其特征在于：所述滑道(7) 上设置有沿滑道(7)长度方向延伸的硅片导向槽。