[实用新型]一种电子工业用真空镀膜机

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机领域，尤其为一种电子工业用真空镀膜机，包括固定平台，所述固定平台的上端外表面活动安装有一号驱动箱，所述固定平台的上端外表面位于一号驱动箱的外表面一侧活动安装有二号驱动箱，所述二号驱动箱的外表面一侧活动安装有装载架，所述装载架的外表面活动安装有装载平台，所述固定平台的一端外表面固定安装有真空室，所述真空室的外表面一侧固定安装有观察窗，本实用新型所述的一种电子工业用真空镀膜机，设有摄像头、温度监测仪和装载架，能够近距离观察被镀膜物品的情况，可以实时监测真空室内的温度，防止温度过高镀膜失败，能够放置更多的物品，提高效率，带来更好的使用前景。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种电子工业用真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，现在市面上的真空镀膜机主要是分成蒸发和溅射两种，现如今，越来越多的行业以及越来越多的产品，需要通过将物品的表面通过镀膜的方式来提高产品的质量，因此，对真空镀膜机的需求日益增长。

现有的真空镀膜机在使用时存在一定的弊端，首先，在镀膜机工作时，不能对被镀膜的物体近距离的观察，出现的残次品概率大，其次，不能准确的控制真空室内的温度，在即将结束镀膜时，导致镀膜失败，最后，狭小的装载平台，一次只能进行少量的物体镀膜，浪费资源，效率低，影响了真空镀膜机的使用效果，因此，针对上述问题提出一种电子工业用真空镀膜机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电子工业用真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种电子工业用真空镀膜机，包括固定平台、阀门与转盘，所述固定平台的上端外表面活动安装有一号驱动箱，所述一号驱动箱的外表面一侧活动安装有二号驱动箱，所述二号驱动箱的外表面一侧活动安装有装载架，所述装载架的外表面活动安装有装载平台，所述固定平台的一端外表面固定安装有真空室，所述真空室的外表面一侧固定安装有观察窗，所述真空室的外表面与观察窗的下方固定安装有工作台，所述真空室的外表面一侧固定安装有管道，所述管道的一端固定安装有三号驱动箱，所述装载架的外表面一侧固定安装有摄像头，所述真空室的上端内表面固定安装有温度监测仪，所述真空室通过阀门与管道固定连接，所述三号驱动箱的内部固定安装有真空泵，所述二号驱动箱通过转盘与装载架活动连接。

优选的，所述固定平台的上端外表面固定安装有滑动轨道，滑动轨道的数量为两个，位于固定平台的水平两侧。

优选的，所述一号驱动箱的内部固定安装有发动机，一号驱动箱的下端外表面固定安装有滑轮。

优选的，所述温度监测仪的数量为四个，且其位于真空室的内表面上、下、左、右四个方向。

优选的，所述真空室的内表面为一层耐高温材料，所述真空室通过导线与工作台固定连接。

优选的，所述装载平台的数量为六个，所述摄像头的数量为六个，位于每个装载平台的一端外表面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置摄像头，能够在物品在镀膜时近距离的观察物品镀膜的状态，并能及时进行调整。

2、本实用新型中，通过设置温度监测仪，能够对真空室内的温度进行实时监测，提前输入好预定温度值，当真空室内的温度超出预定值时，提出警报。

3、本实用新型中，通过设置装载架，更多的放置物品的平台，能提高效率，使产量大大提高。

附图说明

图1为本实用新型一种电子工业用真空镀膜机的整体结构示意图；