[实用新型]一种电子工业用真空镀膜机有效
| 申请号： | 201721408994.6 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN207525331U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 刘炫烨 | 申请（专利权）人： | 无锡源代码科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/52;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 唐维铁 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜机 固定平台 活动安装 驱动箱 装载架 电子工业 本实用新型 上端外表面 真空室 镀膜 近距离观察 温度监测仪 摄像头 实时监测 温度过高 装载平台 观察窗 室内 失败 | ||
1.一种电子工业用真空镀膜机，包括固定平台(1)、阀门(13)与转盘(15)，其特征在于：所述固定平台(1)的上端外表面活动安装有一号驱动箱(2)，所述一号驱动箱(2)的外表面一侧活动安装有二号驱动箱(3)，所述二号驱动箱(3)的外表面一侧活动安装有装载架(4)，所述装载架(4)的外表面活动安装有装载平台(5)，所述固定平台(1)的一端外表面固定安装有真空室(6)，所述真空室(6)的外表面一侧固定安装有观察窗(7)，所述真空室(6)的外表面与观察窗(7)的下方固定安装有工作台(8)，所述真空室(6)的外表面一侧固定安装有管道(9)，所述管道(9)的一端固定安装有三号驱动箱(10)，所述装载架(4)的外表面一侧固定安装有摄像头(11)，所述真空室(6)的上端内表面固定安装有温度监测仪(12)，所述真空室(6)通过阀门(13)与管道(9)固定连接，所述三号驱动箱(10)的内部固定安装有真空泵(14)，所述二号驱动箱(3)通过转盘(15)与装载架(4)活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种电子工业用真空镀膜机，其特征在于：所述固定平台(1)的上端外表面固定安装有滑动轨道，滑动轨道的数量为两个，位于固定平台(1)的水平两侧。
3.根据权利要求1所述的一种电子工业用真空镀膜机，其特征在于：所述一号驱动箱(2)的内部固定安装有发动机，且一号驱动箱(2)的下端外表面固定安装有滑轮(16)。
4.根据权利要求1所述的一种电子工业用真空镀膜机，其特征在于：所述温度监测仪(12)的数量为四个，且其位于真空室(6)的内表面上、下、左、右四个方向。
5.根据权利要求1所述的一种电子工业用真空镀膜机，其特征在于：所述真空室(6)的内表面为一层耐高温材料，所述真空室(6)通过导线与工作台固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种电子工业用真空镀膜机，其特征在于：所述装载平台(5)的数量为六个，所述摄像头(11)的数量为六个，位于每个装载平台(5)的一端外表面。
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