[实用新型]一种可持续生产的晶体生长装置

权利要求书

1.一种可持续生产的晶体生长装置，其特征在于，包括：炉体，所述炉体划分有上部的高温区、中部的中温区和下部的低温区；流体冷却装置，所述流体冷却装置与所述炉体连接，位于所述炉体下方设置有支架；所述支架上水平设置有平移装置，所述平移装置上等间距放置有多个坩埚；垂直设置在所述支架上的垂直升降装置。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述平移装置为水平传送带。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述垂直升降装置包括垂直升降杆，电机，垂直升降杆垂直设置在支架上，所述坩埚垂直设置在垂直升降杆上，所述电机与垂直升降杆连接，以控制垂直升降杆的升降，进而控制坩埚在所述高温区与所述低温区之间往复运动。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：所述炉体外周侧的加热装置，所述加热装置包括位于高温区内的高温发热丝及位于中温区的中温发热丝。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述加热装置在所述高温区和所述中温区均设置有控温热电偶。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述流体冷却装置包括：充气泵、充气阀、喷嘴，所述充气泵与充气阀连接，所述喷嘴设置在所述炉体内并位于低温区，所述充气阀与喷嘴连接。