[实用新型]用于真空镀膜设备的共直流母线装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置。

背景技术

在镀膜过程中，基片放置在不同腔室的传动装置上，并由不同腔室的多个电机驱动对应的传动装置以实现基片在腔室之间的传输。通常，真空镀膜设备包括上片台、进出片室、蒸发室、缓冲室四个腔室，其中每个腔室的传动装置配备至少一台专用电机，然而负责不同腔室的电机却独立运行，各电机之间在硬件上没有任何联系，因而导致了如下缺陷：

1)各电机在电动和发电时的能量资源无法相互利用，造成能量的浪费；

2)各电机均需要单独配备各自的驱动系统、控制单元、以及制动单元等，增加成本并且占用安装空间；

3)装置繁复造成维护不便。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置，以将各腔室的电机驱动系统尽最大限度地进行统一，从而克服上述缺陷。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置，包括分别与各自的驱动单元的输出端连接的上片台传动电机、进出片室传动电机、蒸发室传动电机和缓冲室传动电机，还包括：

下位机、整流单元、公共母线以及至少一个制动单元；

所述下位机与所述整流单元及驱动单元连接；

所述整流单元的输入端与供电系统连接，所述整流单元的输出端与所述公共母线连接；

所述制动单元以及各所述驱动单元，并联在所述公共母线上。

优选地，所述制动单元包括制动控制模块和放电电阻；

所述制动控制模块分别与所述公共母线以及放电电阻连接。

优选地，所述驱动单元包括逆变器或变频器。

优选地，所述上片台传动电机、所述进出片室传动电机、所述蒸发室传动电机及所述缓冲室传动电机为伺服电机。

优选地，所述上片台传动电机、所述进出片室传动电机、所述蒸发室传动电机及所述缓冲室传动电机为常规电动机。

优选地，所述制动控制模块与所述整流单元集于一体。

优选地，所述共直流母线装置还包括编码器，所述编码器连接在所述驱动单元与伺服电机之间。

优选地，所述下位机通过现场总线或工业以太网，与所述整流单元及驱动单元电连接。

优选地，还包括多个熔断器，所述熔断器串接在所述驱动单元的输入端与所述公共母线之间。

优选地，所述熔断器为快速熔断器。

本实用新型提供的应用于真空镀膜设备的共直流母线装置，通过将各腔室的传动电机的驱动单元分别并联在公共的直流母线上，并减少相对应的制动单元的数量，这样不仅可以实现多台电机之间电动状态和发电状态之间能量的互相利用以减少电能的消耗，还可以有效地节省真空镀膜设备中电气设备的安装空间。

进一步地，本装置的硬件构成相较现有的传动电机驱动系统更为简洁，使成本得到控制的同时也更加便于维护。

附图说明

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步描述，其中：

图1为本实用新型提供的用于真空镀膜设备的共直流母线装置的实施例的电气连接示意图。

附图标记说明：

A上片台传动电机 B进出片室传动电机 C蒸发室传动电机 D缓冲室传动电机

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。