[实用新型]用于真空镀膜设备的共直流母线装置有效
| 申请号： | 201721364901.4 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN207234699U | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 姚立柱 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | H02P5/46 | 分类号： | H02P5/46 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司11252 | 代理人： | 赵景平,张春雨 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 设备 直流 母线 装置 | ||
1.一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置，包括分别与各自的驱动单元的输出端连接的上片台传动电机、进出片室传动电机、蒸发室传动电机和缓冲室传动电机，其特征在于，还包括：
下位机、整流单元、公共母线以及至少一个制动单元；
所述下位机与所述整流单元及驱动单元连接；
所述整流单元的输入端与供电系统连接，所述整流单元的输出端与所述公共母线连接；
所述制动单元以及各所述驱动单元，并联在所述公共母线上。
2.根据权利要求1所述的共直流母线装置，其特征在于，所述制动单元包括制动控制模块和放电电阻；
所述制动控制模块分别与所述公共母线以及放电电阻连接。
3.根据权利要求1或2所述的共直流母线装置，其特征在于，所述驱动单元包括逆变器或变频器。
4.根据权利要求1或2所述的共直流母线装置，其特征在于，所述上片台传动电机、所述进出片室传动电机、所述蒸发室传动电机及所述缓冲室传动电机为伺服电机。
5.根据权利要求1或2所述的共直流母线装置，其特征在于，所述上片台传动电机、所述进出片室传动电机、所述蒸发室传动电机及所述缓冲室传动电机为常规电动机。
6.根据权利要求2所述的共直流母线装置，其特征在于，所述制动控制模块与所述整流单元集于一体。
7.根据权利要求4所述的共直流母线装置，其特征在于，所述共直流母线装置还包括编码器，所述编码器连接在所述驱动单元与伺服电机之间。
8.根据权利要求1或2所述的共直流母线装置，其特征在于，所述下位机通过现场总线或工业以太网，与所述整流单元及驱动单元电连接。
9.根据权利要求1或2所述的共直流母线装置，其特征在于，还包括多个熔断器，所述熔断器串接在所述驱动单元的输入端与所述公共母线之间。
10.根据权利要求9所述的共直流母线装置，其特征在于，所述熔断器为快速熔断器。
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