[实用新型]可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪

说明书

本实用新型为一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，包括有一基架及一对可相对摆动地连接于该基架的夹臂，各夹臂分别设置有至少两个呈上、下排列的挂杆；本实用新型的机器人夹爪通过可相对摆动的夹臂调整两夹臂之间的距离，并使不同尺寸的晶圆承载篮能够对应挂置于距离相对应的挂杆上，以实现单一夹爪能够挂置尺寸不同的晶圆承载篮的效果，省去了更换机器人夹爪的麻烦。

技术领域

本实用新型是关于具有夹持功能的机器人，尤其是一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪。

背景技术

由于自动化技术的演进，在许多高科技工厂均已导入机器人作为大量搬运或载送物品的主要手段，以图5的现有的一晶圆生产设备50为例，其通过一可进行升降作动的驱动组件51搭配一夹爪52，用于夹持承载有晶圆的一承载篮 60，由于该承载篮60的尺寸为8“，因此现有的该夹爪52仅有对应该承载篮60的单一尺寸进行设计，而现有市面另有尺寸为12”的承载篮设计，使得现有的该夹爪52无法因应承载篮的尺寸变化进行抓持，需要以更换或者是设计不同尺寸的夹爪方式来应对，都会增加生产上的成本，实用新型人有鉴于此，认为现有的机器人夹爪仍有改善的必要。

实用新型内容

为了解决现有的晶圆承载篮有不同尺寸的设计，而机器人所使用的夹爪只能限于单一尺寸的抓取，本实用新型的主要目的在于提供一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，其具有能够相对摆动的夹臂及上、下排列的挂杆，能够对应抓取不同尺寸的晶圆承载篮。

本实用新型所运用的技术手段在于提供一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，其特征在于，包括：

一对基架，各基架呈水平延伸且互相平行设置；

一对夹臂，各夹臂分别连接于各基架且可相对摆动，并分别设置有至少两个呈上、下排列的挂杆。

优选的是，所述的可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，其中，各对夹臂为互相对称的U形杆体。

优选的是，所述的可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，其中，各对夹臂与各基架以通过轴承连接。

优选的是，所述的可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，其中，该对基架以一端连接于一可进行上、下升降作动的驱动组件。

本实用新型利用所提供的可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，可以获得的功效增进在于，本实用新型通过可摆动的一对夹臂，以及在各夹臂上设置两个以上的挂杆，使该对夹臂能够相对摆动并改变之间的距离，以因应调整抓持不同尺寸的晶圆承载篮，让不同尺寸的晶圆承载篮能够对应挂置在上方或下方的不同位置，而无需另外更换或设计不同尺寸的夹爪，进而能够达到节省生产成本的效果。

附图说明

图1为本实用新型的较佳实施例的前视图。

图2为本实用新型的较佳实施例的局部右视图。

图3为本实用新型的较佳实施例抓取不同尺寸的晶圆承载篮的前视图。

图4为本实用新型的较佳实施例抓取不同尺寸的晶圆承载篮的局部右视图。

图5为现有的机器人夹爪抓取8“晶圆承载篮的前视图。

具体实施方式

以下配合图式及本实用新型的较佳实施例，进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段。

为了能够详细了解本实用新型的技术特征及实用功效，并可依照说明书的内容来实施，更进一步以如附图所示的较佳实施例，详细说明如后，请参阅图2 及图2所示的一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，包括有一驱动组件10、一对基架20及一对夹臂30。