[实用新型]可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪有效
| 申请号： | 201721336574.1 | 申请日： | 2017-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN207480616U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 马俊麒 | 申请（专利权）人： | 海鑫光电系统科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J9/00;B25J9/10 |
| 代理公司： | 北京寰华知识产权代理有限公司 11408 | 代理人： | 林柳岑;何尤玉 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹爪 夹臂 晶圆 机器人 承载 本实用新型 相对摆动 挂杆 基架 地连接 挂置 | ||
【权利要求书】：
1.一种可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，其特征在于，包括：
一对基架，各基架呈水平延伸且互相平行设置；
一对夹臂，各夹臂分别连接于各基架且可相对摆动，并分别设置有至少两个呈上、下排列的挂杆。
2.如权利要求1所述的可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，其特征在于，各对夹臂为互相对称的U形杆体。
3.如权利要求2所述的可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，其特征在于，各对夹臂与各基架以通过轴承连接。
4.如权利要求1至3中任一项所述的可适用于不同尺寸的晶圆承载篮的机器人夹爪，其特征在于，该对基架以一端连接于一可进行上、下升降作动的驱动组件。
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