[实用新型]绝对压力传感器装置和压差传感器装置

说明书

本实用新型公开了绝对压力传感器和压差传感器装置。绝对压力传感器装置的实施方式可包括耦合在控制器裸芯之上的微机电系统(MEMS)绝对压力传感器。MEMS绝对压力传感器可机械耦合至控制器裸芯，也可配置为与控制器裸芯电耦合。控制器裸芯的周长与MEMS绝对压力传感器的周长相比可为相同尺寸和更长中的一种情况。控制器裸芯可配制为通过电连接件与模块电耦合。

相关申请的交叉引用

本申请要求迈克尔J.塞登(Michael J.Seddon)于2016年10月14日递交的名称为“绝对压力传感器和压差传感器及相关方法”的美国临时专利申请系列号62/408519的递交日的权益，其公开内容在此通过引用而整体并入本文。

技术领域

本实用新型的各方面大体涉及包括微机电系统(MEMS)压力传感器的压力传感器，诸如绝对压力传感器和压差传感器。更具体的实施方式涉及堆叠式裸芯压力传感器(stacked die pressure sensors)。

背景技术

通常，压力传感器用于诸如汽车工业的许多行业，用来测量气体和液体流体包括苛性流体(harsh fluid)(诸如油)的压力。压力传感器可以是绝对的，这意味着相对于真空来测量压力，或者是压差的，这意味着测量两种气体或流体之间的压力差。MEMS传感器已被并入绝对压力传感器和压差传感器。具体来说，MEMS压力传感器包括膜片，所述膜片检测施加到单侧(绝对压力传感器)的压力或者检测来自两侧(压差传感器)的压力。当膜片经受压力时，膜片弯曲并产生弹性应变。弹性应变通过MEMS内部的能测量和计算压力的MEMS装置的部件(诸如压电电阻器)的特性变化来检测。

实用新型内容

绝对压力传感器装置的实施方式可包括耦合在控制器裸芯(controller die)上的微机电系统(MEMS)绝对压力传感器。MEMS绝对压力传感器可机械耦合到控制器裸芯，也可配置为与控制器裸芯电耦合。控制器裸芯的周长可以为与MEMS绝对压力传感器的周长相同和更长中的一种情况。控制器裸芯可配置为通过电连接件与模块电耦合。

所述绝对压力传感器装置的实施方式可包括以下之一、全部或任意组合：

所述电连接件可为焊线、钉头(stub)、凸点和穿硅通孔之一。

所述MEMS绝对压力传感器可通过倒装芯片耦合(flip-chip coupling)与控制器裸芯耦合。

所述MEMS绝对压力传感器可通过焊线与控制器裸芯耦合。

所述绝对压力传感器还可包括至少部分密封MEMS绝对压力传感器以及控制器裸芯的密封部。

所述控制器裸芯可配制为通过倒装芯片耦合与模块耦合。

所述MEMS绝对压力传感器可配制为通过焊线与所述模块耦合。

压差传感器装置的实施方式可包括耦合在插入部(interposer)上的微机电系统(MEMS)压差传感器，其中，所述插入部包括：穿过所述插入部的开口，所述开口为所述MEMS压差传感器提供流体通路；以及耦合在所述插入部之上的控制器裸芯。所述MEMS压差传感器可配置为与所述控制器裸芯电耦合，并且所述控制器裸芯可配制为与模块电耦合。

压差传感器装置的实施方式可包括以下之一、全部或任意组合：

所述控制器裸芯可配制为通过焊线、钉头、凸点和穿硅通孔之一与模块耦合。

所述MEMS压差传感器可通过焊线与所述控制器裸芯电耦合。

所述MEMS压差传感器可通过倒装芯片耦合与插入部耦合，其中密封部可至少部分密封多个倒装芯片凸点并可在所述MEMS压差传感器和所述插入部之间充分提供流体密封。

所述控制器裸芯可配制为通过倒装芯片耦合与所述插入部耦合。