[实用新型]一种OLED Cell 缺陷维修设备有效
申请号: | 201721329360.1 | 申请日: | 2017-10-14 |
公开(公告)号: | CN207441756U | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 金基德;尹建刚;何云;李子龙;王祥;万胜;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 修复 缺陷维修 斜度检测 移动载台 移动 激光修复装置 设备整体结构 本实用新型 工序自动化 工作效率高 点灯装置 工艺步骤 缺陷位置 缺陷修复 身份信息 生产效率 适当位置 位姿校正 斜度控制 运输轨道 装置检测 装置校正 电触头 电接触 可移动 点亮 位姿 载台 承接 并列 承载 维修 加工 成功 | ||
本实用新型涉及OLED Cell缺陷修复领域,具体涉及一种OLED Cell缺陷维修设备。通过设置至少两并列的具有移动载台的运输轨道可一个移动载台承载OLED Cell进行修复工序时,另一个载台可承接自位姿校正装置校正位姿后的待修复OLED Cell,有效的缩短了加工间隔时间,大大提高了生产效率;可移动激光修复装置可根据对应的OLED Cell的身份信息移动到缺陷位置对OLED Cell进行维修,斜度检测装置、点灯装置则可根据斜度检测装置检测到的移动载台上待修复OLED Cell位置斜度控制其电触头移动到适当位置,并准确的实现与OLED Cell的电接触,从而点亮OLED Cell以判断修复成功与否。设备整体结构简单,成本较低,且修复工序自动化程度高、工艺步骤少,工作效率高。
技术领域
本实用新型涉及OLED Cell缺陷修复领域,具体涉及一种OLED Cell缺陷维修设备。
背景技术
OLED Cell越来越广泛应用于智能手机、Pad、车载显示、游戏机、笔记本、数字相机屏、高清电视、AR等诸多领域。
OLED Cell生产过程中,产出的有缺陷的产品需要进行维修。现有的OLED Cell缺陷维修设备存在修复工序复杂,效率低,成本高的缺陷。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种 OLEDCell缺陷维修设备,克服现有的OLED Cell缺陷维修设备存在修复工序复杂,效率低,成本高的缺陷。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种OLED Cell 缺陷维修设备,包括位姿校正装置、至少两并列设置的具有移动载台的运输轨道、斜度检测装置、用于将位姿校正装置处的待修复OLED Cell转移至移动载台上的第二转移装置、设于所述移动载台上方的可移动激光修复装置以及用于判断OLED Cell是否修复成功的点灯装置,
所述位姿校正装置,包括设有第一镜头组并用于检测待修复OLED Cell 位姿的位姿检测组件以及用于放置并修正待修复OLED Cell位姿的位姿调整组件;
所述斜度检测装置,包括设有第二镜头组并用于获取所述移动载台上待修复OLEDCell位置斜度的斜度测量组件;
所述可移动激光修复装置,包括用于找正待修复OLED Cell的缺陷位置并输出修复激光束的激光光学单元以及带动所述激光光学单元移动的XY轴移动平台;
所述点灯装置,包括电触头以及用于带动所述电触头移动至接触OLED Cell以点亮OLED Cell的移动组件。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述位姿调整组件包括UVW平台以及设于所述UVW平台上用于放置待修复OLED Cell的预对准台。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述位姿调整组件还包括用于获取预对准台上的待修复OLED Cell的身份信息的信息提取模块。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述激光光学单元包括激光发生器、缺陷找正单元以及激光发生器和缺陷找正单元共用的多倍率物镜组。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述移动组件包括UVW平台以及设于所述UVW平台上的YZ轴移动平台,所述电触头安装于所述YZ轴移动平台上。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述激光光学单元还包括设于所述修复激光束传播路径上的光斑调形机构。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述OLED Cell缺陷维修设备还包括用于翻转OLED Cell的翻转装置,所述翻转装置设于两运输轨道之间。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述OLED Cell缺陷维修设备还包括具有并列设置的上料区、缓冲区及下料区的上下料装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择