[实用新型]一种OLED Cell 缺陷维修设备有效
申请号: | 201721329360.1 | 申请日: | 2017-10-14 |
公开(公告)号: | CN207441756U | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 金基德;尹建刚;何云;李子龙;王祥;万胜;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 修复 缺陷维修 斜度检测 移动载台 移动 激光修复装置 设备整体结构 本实用新型 工序自动化 工作效率高 点灯装置 工艺步骤 缺陷位置 缺陷修复 身份信息 生产效率 适当位置 位姿校正 斜度控制 运输轨道 装置检测 装置校正 电触头 电接触 可移动 点亮 位姿 载台 承接 并列 承载 维修 加工 成功 | ||
1.一种OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:包括位姿校正装置、至少两并列设置的具有移动载台的运输轨道、斜度检测装置、用于将位姿校正装置处的待修复OLED Cell转移至移动载台上的第二转移装置、设于所述移动载台上方的可移动激光修复装置以及用于判断OLED Cell是否修复成功的点灯装置,
所述位姿校正装置,包括设有第一镜头组并用于检测待修复OLED Cell位姿的位姿检测组件以及用于放置并修正待修复OLED Cell位姿的位姿调整组件;
所述斜度检测装置,包括设有第二镜头组并用于获取所述移动载台上待修复OLEDCell位置斜度的斜度测量组件;
所述可移动激光修复装置,包括用于找正待修复OLED Cell的缺陷位置并输出修复激光束的激光光学单元以及带动所述激光光学单元移动的XY轴移动平台;
所述点灯装置,包括电触头以及用于带动所述电触头移动至接触OLED Cell以点亮OLED Cell的移动组件。
2.根据权利要求1所述的OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:所述位姿调整组件包括UVW平台以及设于所述UVW平台上用于放置待修复OLED Cell的预对准台。
3.根据权利要求2所述的OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:所述位姿调整组件还包括用于获取预对准台上的待修复OLED Cell的身份信息的信息提取模块。
4.根据权利要求1所述的OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:所述激光光学单元包括激光发生器、缺陷找正单元以及激光发生器和缺陷找正单元共用的多倍率物镜组。
5.根据权利要求1所述的OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:所述移动组件包括UVW平台以及设于所述UVW平台上的YZ轴移动平台,所述电触头安装于所述YZ轴移动平台上。
6.根据权利要求4所述的OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:所述激光光学单元还包括设于所述修复激光束传播路径上的光斑调形机构。
7.根据权利要求1-6任一所述的OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:所述OLED Cell缺陷维修设备还包括用于翻转OLED Cell的翻转装置,所述翻转装置设于两运输轨道之间。
8.根据权利要求7所述的OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:所述OLEDCell缺陷维修设备还包括具有并列设置的上料区、缓冲区及下料区的上下料装置。
9.根据权利要求8所述的OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:所述OLEDCell缺陷维修设备还包括跨设于所述上下料装置上方的搬运装置,所述搬运装置包括龙门架及设于龙门架上的可移动托架。
10.根据权利要求9所述的OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:所述OLEDCell缺陷维修设备还包括用于将上料区的待修复OLED Cell转移至位姿校正装置处的第一转移装置。
11.根据权利要求10所述的OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:所述第一转移装置包括导架及可沿导架移动的吸盘组件,所述吸盘组件包括设有若干吸盘的吸盘架以及驱动所述吸盘架旋转和伸缩移动的驱动组件。
12.根据权利要求8所述的OLED Cell缺陷维修设备,其特征在于:所述OLEDCell缺陷维修设备还包括设于所述上下料装置与运输轨道之间的缓冲台,以及用于在运输轨道的移动载台与缓冲台之间转移OLED Cell的第三转移装置以及在缓冲台与下料区之间转移OLEDCell的第四转移装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择