[实用新型]一种具有中性衰减特性的金属滤片

说明书

技术领域

本实用新型涉及软X射线辐射流定量测量领域，且特别涉及一种具有中性衰减特性的金属滤片。

背景技术

在激光间接驱动的惯性约束核聚变实验中，激光辐照腔壁产生的X射线辐射能流(或辐射温度)、光谱和在靶丸表面辐照的空间分布决定了靶丸的烧蚀效率和驱动对称性，并最终影响到靶丸壳层和燃料中冲击波的形成及其运动。腔靶内部X射线的这些参数对靶丸内爆速度和高品质热斑形成具有重要影响。因此，X射线的能谱诊断在间接驱动激光聚变中占有非常重要的地位。另外，高功率激光产生的高强度X射线广泛应用于辐射输运实验、辐射不透明度和辐射驱动冲击波实验中，在这些实验中，作为驱动源的X射线辐射能流和辐射光谱也是实验需要诊断的关键参数。当前用于激光聚变物理实验中软X射线光谱测量的诊断设备主要是基于中性衰减片、金属滤片、平面镜和X射线二极管的软X光谱仪。而影响谱仪测谱的主要因素有谱仪瞄准、平面镜定角精度控制、滤片沙眼和色散元件标定等，多种金属滤片(一般0.5-2μm厚)作为软X光能谱仪的主要色散元件，其沙眼问题和面均匀性对测谱影响最大。此外，较多的色散元件标定也限制了其应用。

目前，软X光谱仪使用的金属滤片存在致密度不够、厚度均匀性差和沙眼多等问题。此外，谱仪通常还使用中性衰减片对信号强度进行衰减，一般的中性衰减片采用激光打孔的方式制备，孔的均匀性和陡直度较差，会产生较大的标定不确定度，也影响了谱仪的测量精度。最后，金属滤片和中性衰减片需要分别进行定量标定，造成标定和维护的工作量增大，从而限制了软X光能谱仪的广泛应用。因此，急需对金属滤片的制备工艺进行改进，提高滤片的致密度和均匀性，减少滤片的沙眼。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有中性衰减特性的金属滤片，其结构均匀、无沙眼、致密，可同时标定和使用，提高了标定效率，降低了标定的不确定度。

本实用新型的实施例是这样实现的：

一种具有中性衰减特性的金属滤片，其包括互相连接的中性衰减片以及第三导电金属层，中性衰减片设有第二孔阵列，第二孔阵列具有多个孔，每个孔的一端抵靠于第三导电金属层，另一端贯穿中性衰减片。

在本实用新型较佳的实施例中，上述中性衰减片包括第一导电金属层以及第二导电金属层，第一导电金属层位于第二导电金属层与第三导电金属层之间，孔依次贯穿第一导电金属层以及第二导电金属层。

在本实用新型较佳的实施例中，上述第三导电金属层为铝层、铜层、银层、钛层或金层。

在本实用新型较佳的实施例中，上述第一导电金属层为金层或铜层，第二导电金属层为金层或钽层。

在本实用新型较佳的实施例中，上述第一导电金属层为金层，第二导电金属层为金层。

在本实用新型较佳的实施例中，上述每个孔的孔径为5-15μm。

在本实用新型较佳的实施例中，上述任意相邻的两个孔的孔间距为15-25μm。

在本实用新型较佳的实施例中，上述第三导电金属层的厚度为0.3-2μm。

在本实用新型较佳的实施例中，上述第一导电金属层的厚度为20-40nm。

在本实用新型较佳的实施例中，上述第二导电金属层的厚度≥4μm。

本实用新型实施例提供的一种具有中性衰减特性的金属滤片的有益效果是：

(1)通过将滤片与中性衰减片一体化设计，实现了具有中性衰减特性的金属滤片，极大地节约了标定时间。

(2)利用第二孔阵列结构，将整块中性衰减特性的金属滤片分成周期均匀的筛孔滤片，从而保证刻蚀衬底层的过程中，滤片具有足够的支撑，既保证了中性衰减特性的金属滤片的均匀性和平整性，又降低了中性衰减特性的金属滤片出现破损和沙眼的现象。

同时，具有中性衰减特性的金属滤片可同时标定和使用，提高了标定效率，降低了标定的不确定度。其在软X射线谱仪中的使用有望可提高谱仪测谱的精度和可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型较佳的实施例提供的具有中性衰减特性的金属滤片的制备方法流程示意图；

图2本实用新型实施例1提供的具有中性衰减特性的金属滤片的面透过率扫描曲线；

图3本实用新型实施例1提供的具有中性衰减特性的金属滤片的面透过率曲线；