[实用新型]一种具有中性衰减特性的金属滤片有效
| 申请号： | 201721309896.7 | 申请日： | 2017-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN207180873U | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 车兴森;谢旭飞;张颖娟;刘慎业;侯立飞;杜华冰;杨轶濛 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01N23/00;G01T1/29 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 王闯 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 中性 衰减 特性 金属 | ||
1.一种具有中性衰减特性的金属滤片，其特征在于，包括互相连接的中性衰减片以及第三导电金属层，所述中性衰减片设有第二孔阵列，所述第二孔阵列具有多个孔，每个所述孔的一端抵靠于所述第三导电金属层，另一端贯穿所述中性衰减片。
2.根据权利要求1所述的具有中性衰减特性的金属滤片，其特征在于，中性衰减片包括第一导电金属层以及第二导电金属层，所述第一导电金属层位于所述第二导电金属层与所述第三导电金属层之间，所述孔依次贯穿所述第一导电金属层以及第二导电金属层。
3.根据权利要求2所述的具有中性衰减特性的金属滤片，其特征在于，所述第三导电金属层为铝层、铜层、银层、钛层或金层。
4.根据权利要求2所述的具有中性衰减特性的金属滤片，其特征在于，所述第一导电金属层为金层或铜层，所述第二导电金属层为金层或钽层。
5.根据权利要求4所述的具有中性衰减特性的金属滤片，其特征在于，所述第一导电金属层为金层，所述第二导电金属层为金层。
6.根据权利要求2所述的具有中性衰减特性的金属滤片，其特征在于，每个所述孔的孔径为5-15μm。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的具有中性衰减特性的金属滤片，其特征在于，任意相邻的两个所述孔的孔间距为15-25μm。
8.根据权利要求1-6任意一项所述的具有中性衰减特性的金属滤片，其特征在于，所述第三导电金属层的厚度为0.3-2μm。
9.根据权利要求2-6任意一项所述的具有中性衰减特性的金属滤片，其特征在于，所述第一导电金属层的厚度为20-40nm。
10.根据权利要求2-6任意一项所述的具有中性衰减特性的金属滤片，其特征在于，所述第二导电金属层的厚度≥4μm。
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