[实用新型]一种液体汽化装置

权利要求书

1.一种液体汽化装置，包括液体供给系统和蒸汽室（7），其特征在于：在所述液体供给系统与蒸汽室（7）之间设有液体蒸发器（5），所述液体蒸发器（5）包括液体汽化管（5-1）和加热管（5-2），液体汽化管（5-1）均匀螺旋缠绕在加热管（5-2）的外表面，液体汽化管（5-1）的液体入口与液体供给系统连通，出气口与蒸汽室（7）连通。

2.根据权利要求1所述的一种液体汽化装置，其特征在于：所述的液体供给系统包括高压氮气瓶（1）、液体储存罐（2）、供给管道以及液体流量控制阀（3），所述高压氮气瓶（1）通过供给管道与液体储存罐（2）入口连接，液体储存罐（2）的出口通过供给管道与液体蒸发器（5）入口连接，所述液体储存罐（2）与液体蒸发器（5）之间的供给管道上设有液体流量控制阀（3）和液体质量流量计（4）。

3.根据权利要求2所述的一种液体汽化装置，其特征在于：所述的液体蒸发器（5）与蒸汽室（7）之间的连接管道表面设有保温层Ⅰ（6）。

4.根据权利要求1所述的一种液体汽化装置，其特征在于：所述蒸汽室（7）的外表面设有保温层Ⅱ（8）。

5.根据权利要求4所述的一种液体汽化装置，其特征在于：所述蒸汽室（7）外表面的保温层Ⅱ（8）为加热带。

6.根据权利要求1所述的一种液体汽化装置，其特征在于：所述液体蒸发器（5）上设有温度传感器以监测液体汽化的加热温度。

7.根据权利要求1所述的一种液体汽化装置，其特征在于：所述液体汽化管（5-1）的外表面设有蒸发器保温层（5-3）。

8.根据权利要求1所述的一种液体汽化装置，其特征在于：所述液体汽化管（5-1）直径不大于6mm。