[实用新型]一种用于粘片机的扩片器

权利要求书

1.一种用于粘片机的扩片器，包括安装座、压环组件和安装环，晶圆膜水平安装于所述安装环，所述安装环安装于所述压环组件，所述压环组件安装于所述安装座，其特征在于：

所述安装座包括基座环、顶起部和旋转组件，所顶起部呈竖向设置的圆圈，所述顶起部一体化设置于所述基座环，所述旋转组件安装于所述顶起部外圈的基座环；

所述旋转组件包括6个同步轮和同步带，6个所述同步轮呈环形阵列的方式安装于所述基座环，所述同步轮底部转动安装于所述基座环，所述同步轮中心开设有螺纹孔；

所述压环组件底部以环形阵列的方式竖向设有多个丝杆，所述丝杆和所述同步轮的螺纹孔螺纹配合。

2.根据权利要求1所述的用于粘片机的扩片器，其特征在于：所述压环组件包括上压环、下压环和安装块；

所述上压环和下压环呈水平状设置，所述上压环和下压环两侧通过安装块固定连接，所述上压环和下压环之间设有容纳间隙；

所述安装环容纳于所述容纳间隙。

3.根据权利要求2所述的用于粘片机的扩片器，其特征在于：所述安装环前后两端为对称的圆弧，所述安装环左右两侧为平行的平直状。

4.根据权利要求3所述的用于粘片机的扩片器，其特征在于：所述压环组件前端开设有取片缺口，所述取片缺口自所述上压环上表面贯穿开设至所述下压环底面。

5.根据权利要求4所述的用于粘片机的扩片器，其特征在于：所述压环组件的后端设有阻挡杆，所述阻挡杆自所述上压环上表面贯穿至所述下压环。

6.根据权利要求5所述的用于粘片机的扩片器，其特征在于：所述安装环的后端开设有阻挡缺口，所述阻挡缺口分别对应于所述阻挡杆。

7.根据权利要求6所述的用于粘片机的扩片器，其特征在于：所述安装环材质为不锈钢。

8.根据权利要求7所述的用于粘片机的扩片器，其特征在于：所述安装座和压环组件的表面经过磷化处理。