[实用新型]一种半导体芯片制造设备有效

专利信息
申请号: 201721271455.2 申请日: 2017-09-29
公开(公告)号: CN207624665U 公开(公告)日: 2018-07-17
发明(设计)人: 张俊杰 申请(专利权)人: 上海图双精密装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 代理人: 倪钜芳
地址: 201799 上海市青浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 半导体芯片 固定箱 转轴 半导体芯片制造 本实用新型 表面螺纹 螺纹杆 套管 丝杆 电机 表面固定 短路 光阻液 输出轴 箱内壁 移动块 外部 延伸 转柄 芯片 生产 贯穿 加工 制造 保证
【权利要求书】:

1.一种半导体芯片制造设备,包括固定箱(1),其特征在于:所述固定箱(1)内壁的一侧固定连接有第一电机(2),并且第一电机(2)的输出轴固定连接有丝杆(3),所述丝杆(3)的表面螺纹连接有套管(4),并且套管(4)的表面固定连接有转轴(5),所述转轴(5)的表面套设有螺纹杆(6),所述转轴(5)贯穿固定箱(1)且延伸至固定箱(1)的外部,所述转轴(5)延伸至固定箱(1)外部的一端固定连接有转柄(23),所述螺纹杆(6)的表面螺纹连接有移动块(7),并且移动块(7)的底部固定连接有喷头(8),所述喷头(8)的左侧连通有进液管(9),并且喷头(8)的右侧连通有高压进气管(10),所述固定箱(1)内壁的一侧固定连接有静电发生器(11),并且固定箱(1)内壁的底部固定连接有第二电机(12),所述第二电机(12)的输出轴固定连接有转动装置(13),所述转动装置(13)的中部贯穿有驱动轴(14),并且驱动轴(14)的顶端固定连接有金属圆盘(15),所述金属圆盘(15)的顶部设置有半导体芯片(16),并且金属圆盘(15)底部的两侧均通过支撑柱与固定箱(1)内壁的底部转动连接,所述金属圆盘(15)的两侧均固定连接有支撑架(17),并且支撑架(17)的底部固定连接有压紧装置(18)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述转动装置(13)包括转动轮(131),所述转动轮(131)的中部与第二电机(12)的输出轴固定连接,所述转动轮(131)的中部固定连接有转杆(132),所述转杆(132)远离转动轮(131)的一端固定连接有转头(133),并且转头(133)的表面通过斜槽(134)转动连接有转盘(135),所述转盘(135)的中部与驱动轴(14)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述压紧装置(18)包括固定板(181),并且固定板(181)的顶部与支撑架(17)的底部固定连接,所述固定板(181)的底部固定连接有伸缩杆(182),并且伸缩杆(182)的表面套设有伸缩弹簧(183),所述伸缩杆(182)的底端固定连接有压板(184)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述固定箱(1)内壁的顶部固定连接有滑槽(19),并且移动块(7)的顶部通过滑块与滑槽(19)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述固定箱(1)内壁的一侧开设有移动槽(20),并且套管(4)的表面通过滑块与移动槽(20)滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述固定箱(1)的底部固定连接有底板(21),并且底板(21)底部的两侧均固定连接有底脚(22)。

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