[实用新型]一种半导体芯片制造设备有效
申请号: | 201721271455.2 | 申请日: | 2017-09-29 |
公开(公告)号: | CN207624665U | 公开(公告)日: | 2018-07-17 |
发明(设计)人: | 张俊杰 | 申请(专利权)人: | 上海图双精密装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 倪钜芳 |
地址: | 201799 上海市青浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体芯片 固定箱 转轴 半导体芯片制造 本实用新型 表面螺纹 螺纹杆 套管 丝杆 电机 表面固定 短路 光阻液 输出轴 箱内壁 移动块 外部 延伸 转柄 芯片 生产 贯穿 加工 制造 保证 | ||
1.一种半导体芯片制造设备,包括固定箱(1),其特征在于:所述固定箱(1)内壁的一侧固定连接有第一电机(2),并且第一电机(2)的输出轴固定连接有丝杆(3),所述丝杆(3)的表面螺纹连接有套管(4),并且套管(4)的表面固定连接有转轴(5),所述转轴(5)的表面套设有螺纹杆(6),所述转轴(5)贯穿固定箱(1)且延伸至固定箱(1)的外部,所述转轴(5)延伸至固定箱(1)外部的一端固定连接有转柄(23),所述螺纹杆(6)的表面螺纹连接有移动块(7),并且移动块(7)的底部固定连接有喷头(8),所述喷头(8)的左侧连通有进液管(9),并且喷头(8)的右侧连通有高压进气管(10),所述固定箱(1)内壁的一侧固定连接有静电发生器(11),并且固定箱(1)内壁的底部固定连接有第二电机(12),所述第二电机(12)的输出轴固定连接有转动装置(13),所述转动装置(13)的中部贯穿有驱动轴(14),并且驱动轴(14)的顶端固定连接有金属圆盘(15),所述金属圆盘(15)的顶部设置有半导体芯片(16),并且金属圆盘(15)底部的两侧均通过支撑柱与固定箱(1)内壁的底部转动连接,所述金属圆盘(15)的两侧均固定连接有支撑架(17),并且支撑架(17)的底部固定连接有压紧装置(18)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述转动装置(13)包括转动轮(131),所述转动轮(131)的中部与第二电机(12)的输出轴固定连接,所述转动轮(131)的中部固定连接有转杆(132),所述转杆(132)远离转动轮(131)的一端固定连接有转头(133),并且转头(133)的表面通过斜槽(134)转动连接有转盘(135),所述转盘(135)的中部与驱动轴(14)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述压紧装置(18)包括固定板(181),并且固定板(181)的顶部与支撑架(17)的底部固定连接,所述固定板(181)的底部固定连接有伸缩杆(182),并且伸缩杆(182)的表面套设有伸缩弹簧(183),所述伸缩杆(182)的底端固定连接有压板(184)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述固定箱(1)内壁的顶部固定连接有滑槽(19),并且移动块(7)的顶部通过滑块与滑槽(19)滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述固定箱(1)内壁的一侧开设有移动槽(20),并且套管(4)的表面通过滑块与移动槽(20)滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述固定箱(1)的底部固定连接有底板(21),并且底板(21)底部的两侧均固定连接有底脚(22)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造